混气系统4路质子GSL-4Z
型号: GSL-4Z
产地: 广东
配件产地: 国产配件
产品介绍
混气系统4路质子GSL-4Z是用于控制一种到四种的气体流经真空密封的管式炉，这种气体控制系统安装在移动架内，管式炉可以放在移动架上面，气体控制系统的前面板上有控制并显示气体流量的调节阀，可以用于CVD系统及退火炉，用来研究气体环境对材料的影响，在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的作用，广泛应用于电子工艺设备，如扩散、氧化、外延、CVD、等离子溅射以及镀膜设备、光纤熔炼、混气配气系统及其它分析仪器。
产品型号
混气系统4路质子GSL-4Z
主要特点
精度高，运行稳定可靠，工作压力范围宽，可在高压或真空条件下工作，且操作使用方便。
技术参数
1、电源：185-245V 50Hz
2、最大输出功率：18W
3、控制范围：控制器1——0-100SCCM、控制器2——1-199SCCM、
控制器3——1-199SCCM、控制器4——1-499SCCM
4、最大压力：3×106 Pa
5、准确度：±1%FS
6、线性：±0.5-1.5%
7、重复精度：±0.2%FS
8、响应时间：气特性1-4s，电特性10s针阀：316不锈钢
9、工作压差范围：0.1-0.5 MPa
10、压力表测量范围：-0.1-0.15MPa（0.01 MPa/grid）
11、混气罐：Ø80mm×120mm
12、截止阀：Ø1/4″，316不锈钢针阀
13、工作温度：5-45℃
产品规格
尺寸：600mm×600mm×650mm
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