1240
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本发明提供了在线测试半导体器件衬底的方法,包括:在半导体器件衬底上形成低K介电材料,在低K介电材料表面形成顶部介质阻挡层,再在低K介电材料和顶部介质阻挡层中刻蚀出沟槽,然后在沟槽中填充金属;进行第一次化学机械研磨工艺,使填充的金属顶部与沟槽顶部齐平,从而得到低K介电材料表面覆盖有介质阻挡层的互连层结构,作为待测半导体器件衬底;对低K介电材料表面覆盖有介质阻挡层的待测半导体器件衬底执行在线测试;在线测试中填充的金属顶部表面生成氧化物;进行第二次化学机械研磨工艺,去除填充的金属表面生成的氧化物和低K介质材料表面的顶部介质阻挡层。本发明确保在线测试后得到没有氧化膜的互连结构和无损伤的低K介电材料。
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本发明涉及一种电流互感器的自动监测装置,所述电流互感器包括充气式电流互感器主体、励磁监测仪和ARM11处理芯片,所述励磁监测仪用于对充气式电流互感器主体进行励磁以得到反馈的励磁数据,所述ARM11处理芯片与所述励磁监测仪连接,用于基于所述励磁监测仪确定互感器的缺陷种类。通过本发明,能够实现电流互感器的无损自我监测。
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本发明公开了一种土壤背景干扰条件下小麦叶层氮含量光谱监测模型及建模方法,将野外高光谱辐射仪采集到的小麦冠层叶片及土壤共存条件下的混合反射光谱数据、通过数码相机获取的田间小麦植被覆盖度,与小麦冠层叶片氮含量数据相融合,建立适用于土壤背景干扰下全生育期的小麦冠层叶片氮含量光谱监测模型。本发明利用两年的小麦田间试验资料,通过植被覆盖度修订归一化植被指数,构建面向土壤干扰下小麦叶层氮含量的最佳光谱参数和监测模型。基于土壤背景干扰下的数据集构建的监测模型,能够有效的降低土壤背景产生的噪音,提高小麦叶片氮含量监测的精准性,为早期小麦作物生长氮素营养状况的快速、无损、实时监测提供新的理论基础和技术支持。
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本发明涉及空间自调焦激光差动共焦拉曼光谱成像探测方法与装置,属于空间光学成像和光谱测量技术领域。该空间自调焦激光差动共焦拉曼光谱成像探测方法与装置,对瑞利散射光和拉曼散射光进行无损分离,利用探测器差动共焦响应曲线过零点与焦点位置精确对应的特性,通过寻找响应过零点来精确控制望远系统自动调整焦点,使激发光束自动聚焦到被测对象,同时获取激光光斑焦点位置的光谱信息、并且通过图像探测器获取目标的图像图形信息,装置实现空间自动调焦的光谱探测、图像获取,构成一种可实现样品空间自调焦光谱、图像探测的方法和装置。本发明具有自动调焦、定位准确,大空间范围、光谱探测灵敏度高、目标图像获取等优点。 1
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本实用新型公开了一种车轮六方轴扭矩测试传感器,该装置中,内六方套筒套在六方转轴上,在内六方套筒的外圆柱面上设置一对滚动轴承,在一对滚动轴承的中间设置有轴承定位套;在滚动轴承的外圈上安装套杯;轮毂安装在套杯的外表面上;轴承盖、套杯、轮毂和测力轴套固定连接;内六方轴套安装在六方转轴上,与测力轴套焊接;测力轴套与内六方套筒间隙配合;在测力轴套的圆柱面上对称粘贴两片电阻应变片,两片电阻应变片接成全桥电路,并和无线扭矩节点连接;在测量六方转轴的扭矩时,不需要把六方转轴截断,并通过扭矩传感器把两根截断轴连接起来测量回转体的扭矩;测量转矩时,对六方转轴无损伤,安装空间小,制作成本低,测量精度高。
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本发明公开了一种基于虚拟钻孔的围岩RQD值测算方法、电子设备和介质,通过基于超像素分割算法与超像素块的分界线消解算法,获得掌子面节理裂隙分布图,然后布置若干虚拟测量钻孔,最后计算各个虚拟测量钻孔内块体长度大于10cm的区间总长度,得到所有钻孔的围岩RQD值,并取加权平均值,作为该隧道掌子面围岩RQD数值。本发明不依赖专业测量设备,无需进行实际钻孔,只要通过手持相机拍摄的图像即可测算当前隧道掌子面RQD值,具有低成本、快速、无损化的优势。
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本发明涉及一种多通道高频芯片的低温测试结构,包括芯片定位印制电路板、多通道接口电路板和施压装置,所述芯片定位印制电路板用于放置待测芯片;所述多通道接口电路板上设置有多路金属探针结构,所述金属探针结构用于实现待测芯片与外部设备的信号输入与输出;所述施压装置用于施加压力使得芯片定位印制电路板上的待测芯片的引脚pad与所述多通道接口电路板上的多路金属探针接触以实现电连接。本发明能保证测试中芯片的完整无损。
本发明涉及用于原位测量MEMS微梁材料的杨氏模量的方法及装置。提供了一种MEMS微梁材料杨氏模量原位测量方法,该方法包括:获取MEMS微梁的结构参数;获取MEMS微梁的吸合电压、固有频率和振型函数;根据MEMS微梁的结构参数、吸合电压、固有频率和振型函数,确定MEMS微梁的厚度;根据结构参数、振型函数、厚度和吸合电压或者根据结构参数、振型函数、厚度和和固有频率,确定MEMS微梁的杨氏模量。其中,结构参数包括MEMS微梁的长度、宽度和高度,高度为MEMS微梁的上表面与位于MEMS微梁下方的底部电极的上表面之间的距离。通过采用上述测量方法,能够在MEMS微梁厚度未知的情况下测量微梁材料的杨氏模量,实现杨氏模量的无损原位测量。
本发明公开了一种利用环状脉冲激光模拟弹道冲击并实时监测的装置及方法,其装置包括激光输出模块、指示激光器、光束整型模块和监测模块,所述激光输出模块用于输出所需激光,所述光束整形模块用于将激光输出模块输出的激光光束整型为环状脉冲激光,用以模拟环状冲击带来点状损伤,所述指示激光器用于指示激光作用中心点,所述监测模块用于原位无损监测防护材料测试过程。该装置可模拟特定弹道冲击,对弹道冲击中心作用点处损伤破坏过程进行模拟和监控,以实现弹道冲击完整过程的模拟。
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本发明公开了基于微压痕法的韧性块体材料微小区域残余应力测试方法,属于微小区域残余应力无损测试的技术领域。所述测试方法对测试样块、标准样块做微压痕实验得到加卸载曲线,根据加卸载曲线结合无量纲函数得到计算残余应力的参数,再根据加卸载曲线分析残余应力类别由平均接触压强和残余应力表达式计算残余应力。本发明利用微压痕法实现韧性块体材料微小区域的残余应力测试。
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本发明公开了一种小麦叶片等效水厚度高光谱监测方法,基于不同生态点、不同施氮水平、不同水分处理、不同生育期和不同年份小麦品种的田间试验,构建了基于两波段指数而新建的三波段光谱指数,建立了基于新型三波段光谱指数的小麦等效水厚度高光谱监测模型。本发明通过不同氮素、水分、年份和生育期的田间试验,确定监测小麦LEWT的敏感波段范围和最佳光谱指数,构建定量监测模型,模型具有较高的普适性、机理性和准确性,且对水分敏感对氮素钝感。本发明方法简单,操作方便,快速、准确并无损,为不同氮素条件下的小麦水分监测和精确灌溉提供理论基础和技术支撑。
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本发明公开了一种光纤传感实时量测系统,该系统由光纤传感系统、光纤信号解调系统和数据测量存储系统组成。其特征是:通过光纤传感系统对岩样内外损伤测量,借由光纤信号解调系统将光信号解调,再由数据测量存储系统储存。主要优点是能在以水作为围压介质的三轴试验中使用,无损观测岩样内外损伤,可实现性强。
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本发明公开了一种基于红外多光谱传感器的牛奶主要成分测量方法,包括牛奶样品的特征获取、测量模型的建立和牛奶中蛋白质和脂肪含量的测量。通过多光谱传感器采集不同种类牛奶样品的波长特征,结合标准方法测定所述牛奶样品中的蛋白质和脂肪含量,构建牛奶主要成分测量模型,训练好的测量模型用于牛奶中蛋白质和脂肪含量的测量。本发明基于多光谱传感器获取样品对应的多波长光强特征,使单个样品对应多个有效特征,极大提高了牛奶蛋白质和脂肪的测量精度,实现了对牛奶样品的快速无损预测,具有简单、快速、低成本和环保的优点。
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本发明公开了一种模拟机场非饱和道基在动静荷载下的性能测试方法及装置,在测试装置的模型箱内分层填筑非饱和道基土体和道面材料,在各层土体中分别设置测试道基性能所需参数的监测设备,在模型箱的顶部设置加载装置。从模型箱侧壁的注水孔给道基土体的中间夹层多次注入水来改变其含水量,针对不同含水量通过加载装置的荷载施加设备施加荷载,监测不同含水量及施加荷载情形下的道基性能变化。相当于以机场道基道面工程为依托,通过测试装置结合监测设备来反复模拟测试不同飞机荷载作用下道基土体变形破坏机理,提出的无损探测方法能及时发现道基潜在灾害,减少道基灾害引起的道面损伤,保证飞机适航性,为类似机场工程提供强参考意义的技术依据。
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一种探测织针的断裂针钩的装置,针织机具有一个三角,该三角包括起针三角部分,成圈三角部分,和关边三角部分。一个探测器具有探测器上升段,其中在关边三角部分中的第二三角表面在成圈位置处远离第二三角表面倾斜。一个探测器针踵下降段接着探测器针踵上升段,一个凹段接着针踵下降段。所述凹段的形成使得第二三角表面与第一三角表面充分地隔开,以使具有断裂针钩的织针的针踵由探测器针踵下降段推动进入凹段,但是无损伤织针的针踵不进入探测器凹段。一个传感器识别针踵位于探测器凹段中的织针的终端。所述装置可以进一步包括在传感器被触发后用于停止针织机作业的装置。也提供了一种用于探测断裂针钩的方法以及与所述装置一起使用的织针。
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本发明为一种压缩比测量方法。它包括以下步骤:(1)根据设计要求,设定被测样件的宽度、高度、两端宽度差、施压压强的参数值;(2)将样件置于被测量设备的工作台上的被测位置,并利用测量设备测量被测样件两端的宽度;记录样件温度;(3)当两端宽度差小于或小于等于设定值时,设定初始压力后,对被测样件进行初始加压,并实时监测该压力值;(4)初始压力达到设定值后保持压力,以将被测样件压实,记录样件的基础高度h0后进入加压和测量循环,直至达到或超出预设范围。本发明能够对变压器生产过程中线圈垫块增减提供依据。将以往在线圈成型后高度的调整提前到绕制工序,绕制时增减垫块数量对线圈无损伤,每台可节省大量人工费用,提高生产效率,缩短工期。
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本实用新型是刹车管扩口接头内部锥角角度测量装置,属于一种角度测量工具。将待测接头螺纹孔向上固定在平台的夹具上,利用在工作台支架上相距一定距离的直线位置传感器测量出接头密封面坡度某两点的高度位置,然后通过数据线将两个直线位置传感器测得的数据传输到数据处理模块,通过程序运算,根据反正切公式,计算得出待测接头内部锥角的角度,并将最终数值在显示模块显示出来。该方法可以不对接头和密封面产生破坏,实现无损伤测量。同时该设备操作简便,测量精度高,自动化程度高,能够直接读出内部锥角读数。
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本发明提供一种面向焊接领域的真空吸附式表面瞬态测温装置,包括圆柱头钉状测温传感器、弹簧、螺纹弹簧座、橡胶管帽、耐高温真空吸盘、套筒;圆柱头钉状测温传感器包括圆柱头钉状陶瓷柱基底、固定在基底内部的补偿导线、沉积于圆柱头钉状陶瓷柱基底A面的NiCr功能薄膜、NiSi功能薄膜、SiO2保护薄膜;本发明将圆柱头钉状测温传感器钉身套装弹簧,穿出螺纹弹簧座底部的椭圆形孔,伸出部分套装橡胶管帽,通过螺纹连接将弹簧座与耐高温吸盘固定,保证耐高温吸盘吸合时圆柱头钉状测温传感器与被测表面始终保持紧密接触,实现被测表面瞬态变化温度实时测量。本发明对被测物体表面无损伤,具有布点灵活、响应迅速、测温准确、零件可更换等优点。
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本发明公开了一种InSb晶片损伤层深度的测试方法,所述方法包括:测量InSb晶片的重量M以及厚度H;在InSb晶片的第一面设置隔离膜,并测量具有隔离膜的InSb晶片的重量M1;对具有隔离膜的InSb晶片进行腐蚀,并对腐蚀后的InSb晶片进行半峰宽测试;当半峰宽测试值趋于稳定,测量半峰宽测试值趋于稳定的InSb晶片的重量M2,并根据h=(M1‑M2)×H/M计算InSb晶片损伤层深度h。采用本发明,通过对InSb晶片进行腐蚀,利用半峰宽值与损伤层剥离深度的关系来定量的测定的损伤层的深度,从而实现InSb晶片中包含应力层在内的损伤层的定量测定,以满足后续各个工艺所要求的InSb晶片最优去除量,提高InSb晶片材料的利用率和加工效率,获得无损伤的InSb晶片、为提升红外探测器的性能提供了理论依据和科学指导。
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本发明公开了一种大田冬小麦拔节期纹枯病遥感监测方法,属于农作物生长监测技术领域。针对以往冬小麦病害监测方法中存在的测报花费时间长、人力需求量大、测报信息滞后及监测范围有限等问题,提出了一种大田冬小麦拔节期纹枯病遥感监测方法,它是综合利用遥感植被指数、麦田冠层相对湿度和麦田环境温度三类信息进行大田冬小麦纹枯病发生情况监测的方法。其优点是由于它综合了卫星遥感数据和气候因素进行冬小麦纹枯病监测,可大面积、无损、快速的监测大田冬小麦拔节期纹枯病发生情况,在很大程度上提高了监测的精确度和时效性;制作的冬小麦纹枯病遥感监测信息图,信息量大、直观、便于理解和使用,可为基层农业植保措施的制定提供参考。
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本实用新型涉及一种土工离心模型试验中渗流及溶质迁移量测装置,包括:一土工模型装置、一高密度电阻率测定分析系统及一土工离心机;该离心机承载并带动高密度电阻率测定分析系统及土工模型装置高速旋转;离心机包括离心旋转轴、离心机载主机及离心旋转臂;土工模型装置包括用于盛装试验土料的主体模型箱及液体入渗装置,液体入渗装置供液体入渗至主体模型箱内的试验土料;高密度电阻率测定分析系统包括相互电连接的高密度电阻率测定装置、电极及测试主控电脑,电极埋设于主体模型箱的试验土料中,高密度电阻率测定装置与土工模型装置通过电极电连接。本实用新型量测装置满足无损、三维、实时、高精度的量测需求。
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本实用新型提供了一种微弱应变测量系统,该微弱应变测量系统由测量装置、信号处理装置和外部控制显示装置组成。本实用新型有效的克服了市场上所使用大部分应变测量仪测量原理复杂、价格昂贵,成本高、体积庞大、不宜携带、操作复杂和不利于维修的缺点,具有测量灵敏度高、采用连续、无损测试方法、测量范围广、仪器成本低的优点,在声纳的水声换能器技术、电声换能器技术、海洋探测与开发技术、微位移驱动、减振与防振、减噪与防噪系统、智能机翼、机器人、自动化技术、燃油喷射技术、阀门、泵、波动采油等高技术领域。
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本实用新型公开一种场效应管测试用适配器,包括测试母板和测试子板;测试母板设有底板,底板上至少安装有三个继电器,底板上还设有插装场效应管的接针孔、与外置测试设备连接的接线孔和给继电器供电的电源接口,接针孔通过继电器与接线孔电连接;测试子板设有测试座,测试座上固定安装有与测试母板上接针孔配合的探针,测试座上还安装有与探针连接用于改变器件管脚连接点的转接组件。本实用新型所述适配器是基于SiZ918DT器件测试程序的开发,利用分立器件测试系统设计的,能够一次性快速实现器件的全部参数的测试需求,提高了测试精度,大大提高了产品批生产过程中的测试效率,测试精度高、对被测器件无损伤等优点。
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本发明涉及一种介质薄膜与金属界面热阻的测量方法及系统,将介质薄膜与金属箔紧密贴紧后进行热脉冲实验得到实测热响应电流信号曲线;建立介质薄膜与金属箔的传热仿真模型,当仿真模型的理论热响应信号电流曲线与实测热响应电流信号曲线的拟合度满足预设置的收敛条件时,将仿真模型的界面热阻值作为介质薄膜与金属箔的界面热阻。与现有技术相比,本发明实现过程简单,获取实测热响应电流后,建立传热仿真模型,不断调节仿真模型的界面热阻值,直至实测热响应电流与仿真模型的理论热响应电流的拟合度满足收敛条件,测量速度快、准确度高,操作方便,对介质薄膜无损伤,能够对厚度数微米的独立介质薄膜材料与金属之间的界面热阻进行高精度测量。
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一种快速高精度测距系统,涉及测量技术领域;包括微控制器、切换开关、激光器、辅接收器模块和主接收器模块;通过微控制器控制切换开关对外部的差动信号进行切换;首先对辅接收器模块和主接收器模块的延迟相位差进行差值计算,得到两个接收器模块,自身存在的相位插值;随后通过切换开关接入外部主振信号和次信号,完成对双接收系统误差相位的校正;校正完毕开关切换开启发射系统,实现对参考光路和测量光路的测量和同时鉴相,实现距离实时性的测量。本发明无需采用机械装置切换,无损耗、寿命长;开机启动的校正提高了测量精度,远距离测量达毫米量级,而双接收提高了测量速度。
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一种煤矿区开采沉陷土地损伤的多功能监测装置,包括埋设于开采工作面主断面内的沉陷观测墩,沉陷观测墩中心位置嵌设有竖直连接通道,沉陷观测墩内至少嵌设有三层水平连接通道,水平连接通道贯通到沉陷观测墩的侧面,水平连接通道垂直于竖直连接通道且与竖直连接通道连通,竖直连接通道的顶部与主水平连接通道连通,主水平连接通道伸出沉陷观测墩的位置上设置有与中央处理器连通的数据采集器;三层水平连接通道由上而下依次为第一层水平连接通道、第二层连接通道和第三层连接通道;三层水平连接通道外侧均设置有土壤水分传感器,土壤水分传感器上的数据线分别穿过对应的水平连接通道进入到竖直连接通道,最后经主水平连接通道与数据采集器连通。能够实现动态监测、在一定时间内的无人值守,并且达到多层次无损监测的效果。
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一种测量管道表面温度的热电偶,包括接线盒、测温元件,其特征在于所述测温元件为铠装测温元件,测温元件装在保护管中,保护管一端与接线盒相连,保护管另一端焊接有抱箍,抱箍上上有翘片,翘片上有孔,由可拆卸的锁紧螺丝连接。使用时,抱箍上的锁紧螺丝将抱箍紧紧固定在所测管道上,测温元件与管道表面接触,通过热传导将管道表面温度传递给测温元件,从而测得管道表面温度值,再通过对所测值进行相应温度修正可得知管道内介质温度。本实用新型设计新颖,安装方便,安全可靠,能延长仪表的使用寿命,与传统测量安装方式不同,对管道表面无损伤,通过实际使用证明,达到了预定目的,适用于各种管道表面温度的测量。
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本发明提供了一种测量涂层孔隙率模型的建立方法及该模型的使用方法,其中测量涂层孔隙率模型根据SEM照片原位建模原理构建,较其他方法更接近涂层中孔隙的实际形貌,孔隙率不同的模型孔隙形貌基本保持一致,且遵循了控制单一变量的原则,使得孔隙率仅随纵波声速变化,研究结果更具针对性、严密性和说服力。测量涂层孔隙率模型的使用方法为通过对涂层的超声反射回波信号幅度谱进行分析,得到不同孔隙率下的涂层纵波声速变化率,进而根据关系模型,确定涂层的孔隙率。本发明测量过程对涂层无损,且测量误差小。
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本发明涉及一种基于粗糙集和神经网络的铸造气缸盖力学性能预测方法,属于铸造铝合金气缸盖相关领域。本发明的一种基于粗糙集和BP神经网络的力学性能预测方法,利用粗糙集理论,对影响力学性能的指标属性进行约简,从而减少神经网络的输入维数,把约简后的指标属性作为BP神经网络的输入进行力学性能预测。本发明在无需进行大量试验与模拟仿真的前提下,并且在几乎无损的试验条件下,即可对力学性能实施预测,在提高力学性能预测的准确性和效率的同时,降低了设计与生产成本,提高了生产效益。
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本发明涉及一种用于测量复介电常数的CSRR(互补开口谐振环,全称为Complementary Split Ring Resonators)微带谐振传感器及其应用,所述微带谐振传感器包括介质基片、导体信号线、金属接地板以及互补开口谐振环,其中,导体信号线印刷在介质基片正上方,金属接地板一体成型设置于介质基片的正下方,互补开口谐振环蚀刻在金属接地板中。本发明是测量复介电常数的CSRR微带谐振传感器,基于CSRR实现复介电常数的测量,具有体积小、重量轻、成本低、精度高、无损测量、便于样本制备等优点,基本克服了传统微波测量技术存在的弊端。
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