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12715 配置说明
2.1、机械泵：
抽气速率：4L/S
容油量：1.1L
电机功率：400W
极限压强：6×10-2Pa
2.2、分子泵：
抽气速率：100L/S
极限压强：6×10-6Pa
启动时间：＜2min
额定转速：4300转/分
冷却方式：环境温度5-32℃时，风冷；5-40℃时看，水冷。
2.3、分子泵控制器：
电压：220V±22V
启动电流：≤7A
输入频率：47HZ—63HZ
最大输出功率：≤150W
最大加速电压：≤40V
加速时间：≤3min
频率（双速）：高速705HZ±10HZ
低速430HZ±5HZ
2.4、复合真空计：
测量路数：2路（电阻规、电离规各1路）
工作模式：手动/自动（可切换）
电阻单元参数
规管型号：ZJ-52T电阻规
测量范围：1.0×105Pa~1.0×10-1Pa
有效范围：2.5×103Pa~5.0×10-1Pa
控制范围：2.5×103Pa~5.0×10-1Pa
电离单元参数
规管型号：ZJ-27电离规
可测范围：5.0Pa~1.0×10-5Pa
有效范围：1.0Pa~5.0×10-5Pa
控制范围：1.0Pa~5.0×10-5Pa
规管除气方式：焦耳去气
控制方式：点动或区域控制/带掉电记忆
控制精度：±1%
采样时间：1S
电源：220V±10% 50HZ
功耗：50W
使用环境温度：0℃~45℃
湿度：≤85%
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