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KLA Alpha-step D-300/D-600型-台阶仪
探针式轮廓仪/台阶仪/Alpha-Step D-600 Stylus Profiler
Alpha-Step D-600探针式轮廓仪能够测量从几纳米到1200微米的台阶高度测量与三维形貌测量。D-600还可以在研发和生产环境中支持粗糙度、翘曲度和薄膜应力的测量。 D-600配置200毫米自动移动样品台与先进的Keystone矫正的辅助光学系统。
产品描述
Alpha-Step D-600探针式轮廓仪支持台阶高度和粗糙度的二维与三维测量，以及翘曲度和薄膜应力的测量。创新的光学杠杆传感器技术提供高分辨率测量，大范围测量与超微力测量于一体的功能。
探针测量技术的一个优点是它是一种直接测量，与材料特性无关。可调节的探针压力以及探针的选择都使其可以对各种结构和材料进行精确测量。通过测量粗糙度和应力，可以对工艺进行量化，确定添加或去除的材料量，以及结构的任何变化。
主要功能
台阶高度：几纳米至1200μm
低触力：0.03至15mg
视频：500万像素高分辨率彩色摄像头
梯形失真校正：消除侧视光学系统引起的失真
圆弧校正：消除由于探针的弧形运动引起的误差
紧凑尺寸：占地面积小
软件：用户友好的软件界面
主要应用
台阶高度：2D台阶高度和3D台阶高度
纹理：2D粗糙度和波纹度
形式：2D翘曲和形状
应力：2D薄膜应力
工业应用
大学，研究实验室和研究所
半导体和复合半导体
SIMS：二次离子质谱
LED：发光二极管
太阳能
MEMS：微电子机械系统
汽车
医疗设备
规格参数
扫描探针压力: 0.03-15mg
垂直分辨率: 0.38 Å
Z测量重复精度: 5.0 Å 或 0.1%
最大垂直测量范围: 1200um
具有双向扫描测量的功能,方便定位和扫描
最大采样点数120,000
扫描长度：55 mm/200mm(stitching);
扫描速度0.01-0.4mm/s
独特的系统内置避震设计
30多种分析参数
XY方向150mmX178mm自动样品运动台
样品台尺寸200mm直径，360度旋转,可调倾斜角度+/-2度
500万像素彩色摄像头 配备Keystone视频校正
咨询底价
