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自动光反射膜厚仪

自动光反射膜厚仪

290
规格/型号:Filmetrics F60-t
品牌:优尼康
应用领域:检测设备
产地:广东 - 东莞
厂家/供应商:优尼康科技有限公司
咨询电话::400-616-7676转1554(请说明信息源自“中冶有色网”)
更新时间:2025-07-13
级别:待认证

自动光反射膜厚仪说明介绍

Filmetrics F60-t 自动光反射膜厚仪

Filmetrics F60-t 自动光反射膜厚仪


核心参数

波长范围:190nm-1340nm

测量精度:0.02nm

简介

Filmetrics F60-t 自动光反射膜厚仪就像我们的F50白光干涉膜厚测量仪产品一样。主要测绘薄膜厚度和折射率。但它增加了许多用于生产环境的功能。这些功能包括凹槽自动检测、自动基准确定、全封闭测量平台、预装软件的工业计算机,以及可以升级到全自动化晶圆传输的机型。

Filmetrics F60-t 自动光反射膜厚仪产品介绍:

Filmetrics F60-t 自动光反射膜厚仪就像我们的F50白光干涉膜厚测量仪产品一样。主要测绘薄膜厚度和折射率。但它增加了许多用于生产环境的功能。这些功能包括凹槽自动检测、自动基准确定、全封闭测量平台、预装软件的工业计算机,以及可以升级到全自动化晶圆传输的机型。

Filmetrics F60-t 自动光反射膜厚仪特点优势:

自动化薄膜厚度绘图系统,快速定位、实时获得结果;

可测样品膜层:基本上光滑的。非金属的薄膜都可以测量;

所有系统皆使用直观的标准分析软件;

凹槽自动检测

自动基准确定

全封闭测量平台

Filmetrics F60-t 自动光反射膜厚仪产品测量原理:

当入射光穿透不同物质的界面时将会有部分的光被反射,由于光的波动性导致从多个界面的反射光彼此干涉,从而使反射光的多波长光谱产生震荡的现象。从光谱的震荡频率,可以判断不同界面的距离进而得到材料的厚度(越多的震荡代表越大的厚度),同时也能得到其他的材料特性如折射率与粗糙度。

自动光反射膜厚仪
         
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