Filmetrics F60-t 自动光反射膜厚仪
核心参数
波长范围：190nm-1340nm
测量精度：0.02nm
简介
Filmetrics F60-t 自动光反射膜厚仪就像我们的F50白光干涉膜厚测量仪产品一样。主要测绘薄膜厚度和折射率。但它增加了许多用于生产环境的功能。这些功能包括凹槽自动检测、自动基准确定、全封闭测量平台、预装软件的工业计算机，以及可以升级到全自动化晶圆传输的机型。
Filmetrics F60-t 自动光反射膜厚仪产品介绍：
Filmetrics F60-t 自动光反射膜厚仪就像我们的F50白光干涉膜厚测量仪产品一样。主要测绘薄膜厚度和折射率。但它增加了许多用于生产环境的功能。这些功能包括凹槽自动检测、自动基准确定、全封闭测量平台、预装软件的工业计算机，以及可以升级到全自动化晶圆传输的机型。
Filmetrics F60-t 自动光反射膜厚仪特点优势：
自动化薄膜厚度绘图系统，快速定位、实时获得结果；
可测样品膜层：基本上光滑的。非金属的薄膜都可以测量；
所有系统皆使用直观的标准分析软件；
凹槽自动检测
自动基准确定
全封闭测量平台
Filmetrics F60-t 自动光反射膜厚仪产品测量原理：
当入射光穿透不同物质的界面时将会有部分的光被反射，由于光的波动性导致从多个界面的反射光彼此干涉，从而使反射光的多波长光谱产生震荡的现象。从光谱的震荡频率，可以判断不同界面的距离进而得到材料的厚度（越多的震荡代表越大的厚度），同时也能得到其他的材料特性如折射率与粗糙度。
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