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探针式轮廓仪

探针式轮廓仪

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规格/型号:Tencor® P-7
品牌:KLA
应用领域:检测设备
产地:上海 - 上海
厂家/供应商:KLA Instruments™
咨询电话::21-38178412(请说明信息源自“北方有色网”)
更新时间:2025-06-12
级别:待认证

探针式轮廓仪说明介绍

Tencor® P-7探针式轮廓仪

Tencor® P-7探针式轮廓仪


Tencor P-7探针式轮廓仪为生产和研发(R&D)环节提供了从几纳米到一毫米的台阶高度测量功能。该系统支持对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行二维(2D)和三维(3D)测量,扫描范围可达150毫米,无需拼接。

产品描述

Tencor P-7探针式轮廓仪以成功领先市场的Tencor P-17台式探针式轮廓仪系统为基础。它涵盖了P-17的卓越测量性能,为台式探针式轮廓仪提供了出色的性价比。Tencor P-7探针式轮廓仪支持对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量,扫描范围可达150mm,无需拼接。

特征

台阶高度:纳米级到1000微米

恒定力控制:0.03至15mg

样品的全直径扫描,无需拼接

视频:5MP高分辨率彩色相机

弧形校正:可消除探针的弧形运动引起的误差

软件:简单易用的软件界面

生产能力:全自动测量,具有测序、图形识别和SECS/GEM功能

应用

台阶高度:2D和3D台阶高度

纹理:2D和3D粗糙度和波纹度

形状:2D和3D翘曲、形状

应力:2D和3D薄膜应力

缺陷检测:2D和3D缺陷表面形貌

工业

高校、实验室和研究所

半导体和化合物半导体

LED:发光二极管

太阳能

MEMS:微机电系统

数据存储

汽车

医疗器械

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