Tencor® P-7探针式轮廓仪
Tencor P-7探针式轮廓仪为生产和研发(R&D)环节提供了从几纳米到一毫米的台阶高度测量功能。该系统支持对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行二维(2D)和三维(3D)测量，扫描范围可达150毫米，无需拼接。
产品描述
Tencor P-7探针式轮廓仪以成功领先市场的Tencor P-17台式探针式轮廓仪系统为基础。它涵盖了P-17的卓越测量性能，为台式探针式轮廓仪提供了出色的性价比。Tencor P-7探针式轮廓仪支持对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量，扫描范围可达150mm，无需拼接。
特征
台阶高度：纳米级到1000微米
恒定力控制：0.03至15mg
样品的全直径扫描，无需拼接
视频：5MP高分辨率彩色相机
弧形校正：可消除探针的弧形运动引起的误差
软件：简单易用的软件界面
生产能力：全自动测量，具有测序、图形识别和SECS/GEM功能
应用
台阶高度：2D和3D台阶高度
纹理：2D和3D粗糙度和波纹度
形状：2D和3D翘曲、形状
应力：2D和3D薄膜应力
缺陷检测：2D和3D缺陷表面形貌
工业
高校、实验室和研究所
半导体和化合物半导体
LED：发光二极管
太阳能
MEMS：微机电系统
数据存储
汽车
医疗器械
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