Alpha-Step® D-600探针式轮廓仪
Alpha-Step D-600 探针式轮廓仪能够测量从几纳米到 1200微米的2D和3D台阶高度。D-600 还支持2D和3D的粗糙度测量，以及用于研发和生产环节的2D翘曲度和应力测量。D-600 包含一个带有200 毫米样品载台的电动样品台和具有增强影像控制的高级光学器件。
产品描述
Alpha-Step D-600 探针式轮廓仪支持台阶高度和粗糙度的2D和3D测量，以及2D翘曲度和应力。创新的光学杠杆传感器技术提供高垂直分辨率、长程垂直测量范围和微力控制测量能力。
探针接触式测量技术的优点是可以进行接触式直接测量，与材料特性无关。多种力度调节和探针选择可以让机台对各种结构和材料进行准确测量。该探针测量选项能够对您的工艺进行量化，以确定添加或去除的材料量，并通过测量粗糙度和应力来确定结构的任何变化。
功能
台阶高度：纳米级到 1200 微米
微力：0.03 至 15 mg
视频：5MP高分辨率彩色相机
梯形失真校正：可消除侧视视图造成的失真
弧形校正：可消除探针的弧形运动引起的误差
小巧的尺寸：系统占用体积小
软件：用户友好的软件界面
应用
台阶高度：2D和3D台阶高度
纹理：2D和3D粗糙度和波纹度
形状：2D和3D翘曲度和形状
应力：2D薄膜应力
工业
高校、实验室和研究所
半导体和化合物半导体
LED：发光二极管
太阳能板
MEMS：微机电系统
汽车
医疗设备
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