高温钛合金离子氮化炉
该设备具备电阻加热和等离子加热双重加热电源，设备可设计成钟罩式和卧式结构，其主要特点是温度可达1100度自由可调实现高温状态的工件离子氮化，提高了炉温均匀性和满足特殊需求的工件氮化，设备除工件摆放外由可编程序控制器实现全自动运行。设备可设计有多路进气口，既可单路充气，又可实现对炉内充入不同的气体，以便实现不同的表面处理工艺。
主要用途
设备主要用于钛合金的表面氮化、耐热不锈钢的表面氮化以及其他高温合金的表面氮化。
主要技术指标
1、有效工作区尺寸 Ф1200×H1500（可依据客户要求设计）
2、 极限真空度 6.7X10-1 Pa
3、 压升率 ≤0.67Pa/h
4、 装炉量 800KG；
5、升温速率 空炉由室温升至1100℃少于1小时
6、抽真空速率 空炉由大气抽至6.7X10-1少于30min
7、常用工作温度 ≤900℃
8、 最高工作温度 1100℃（也可实现高温非离子气体氮化）
9、控温方式 可编程自动控温PID参数自动调节
10、 控制方式 全自动控制及手动联锁控制
离子加热技术参数
1、输出平均电流： 200A IGBT 脉冲电源
2、输出电压： 0～1000V连续可调、200V以上无突跳
3、频 率： 1000Hz
4、控制方式： 定频调宽
5、输出波形： 矩形方波
6、灭弧速度： ≤2微秒（us）
7、占空比： 0～85%连续可调
8、辉光控制方式： PWM
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