SR110硅芯炉的工作方式与区熔系统类似。该系统使用一个在高频感应线圈下直径为100毫米的
多晶硅棒(源棒)。根据硅棒的长度，在多个拉动工艺中可以产生特定数量的硅芯;然后这些硅芯被用作西门子下游工艺中的原棒。通过隔离阀将接收炉体与工艺炉体分开，可以将完成的硅芯取出，并立即开始下一个工艺。通过引入扩散到熔体中的工艺气体可以对细杆进行掺杂处理。
改良后的硅芯炉设计采用两个直径约为50毫米的源杆，并可以从每个源杆上拉出硅芯。
产品数据概览:
材料：硅
细杆
长度： 最长3200毫米
直径： 大约8毫米
源杆
长度： 最长 1,000 mm
直径： 100 mm (4")
极限真空度： 5 x 10-2 mbar
最大过压： 0.35 bar(g)
发电机
输出电压： 30 kW
频率： 2.8 MHz
上拉式进料
拉动速度： 最高60毫米/分钟
下拉式进料
拉动速度： 最高 10 mm/min
转速： 高达 20 rpm
尺寸规格
高度： 7,300 mm
宽度： 1,820 mm
深度: 1,250 mm
占地面积(总计)： 2,500 mm x 2,800 mm
重量(总计)： 约6,000 kg
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