仪器简介
电子探针(EPMA)是用极细的电子束对样品表面进行照射产生特征性X射线，对特征性X射线进行分光和强度测定，得到微小区域的元素组成及样品表面元素浓度分布的分析装置。EPMA 采用波长色散型X 射线分光器(WDS)，与能量色散型X 射线分光器(EDS)相比，具有高分辨率的特点。本实验室装备有日本岛津公司生产的EPMA-1720电子探针显微分析仪，配备4道波谱仪，同时配备AZtec X-Max 80牛津能谱仪，可对试样进行微小区域成分分析，可对5B～92U范围的元素进行定性和定量分析。
性能指标
分光晶体：2 个/ 道(自动晶体交换)
分光器数：4道
分析元素：4Be～92U
能量分辨率：>127eV(MnKα处)
加速电压： 0.1～30 kV(0.1kV步进。5kV 以下可以10V 步进设定)
二次电子像分辨率：W灯丝：6 nm(加速电压30 kV)
放大倍率：40倍～400,000倍(WD = 6.35mm分析高度)
最大分析区域：90mm × 90mm
主要功能和应用：
形貌分析：材料微区内的二次电子、背散射电子、特征X射线、吸收电子成像等形貌信息。
定性分析：材料微区内化学成分定性分析 (全元素分析)、线扫描分析(得到层成分分布信息)、面扫描分析(得到成分面分布图像)。
定量分析：材料微区内全元素有标定量分析。
状态分析：材料微区内元素所处的化学状态分析。
测试项目
定性分析、线扫描分析、面扫描分析、定量分析、元素状态分析
样品要求
样品直径不要超过30mm，样品高度不要超过20mm，样品表面要尽量平整(抛光)，样品要导电。
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