仪器简介
利用SPM系统，可综合采用PIXE、PIGE、ERD、RBS等离子束分析方法，实现多种元素成份分析;可测定微区元素分布。可以用于材料、生物医学、环境、地质样品的多种微量化学元素成份和微区结构的无损分析。
性能指标
(1)质子微束空间分辨率1微米
(2)化学元素分析检出限1ppm
(3)真空度优于1*10-4 Pa
(4)探测系统包括真空靶室、前置放大和Si(Li)探测器，电子学系统包括高压、主放、堆积排除、ADC转换等，微机多道能谱仪。
测试项目
1、PIXE分析2、RBS分析3、ERD分析4、二维元素分布成像5、(特殊)微束实验。
样品要求
不影响系统真空的无腐蚀性、无爆炸性、无剧毒性的粉体或块体。
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