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2260 管式炉
炉管尺寸：外径φ50
加热元件：电阻丝（Fe-Cr-Alloy doped by Mo）
加热区长度：440mm
恒温区长度：200mm（±1℃）
工作温度：1100℃
最高温度：1200℃
控温方式：模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能
控温精度：±1℃
升温速度：20℃/min
炉门结构：开启式
工作电源：AC220V/50Hz
额定功率：3KW
射频电源
信号频率：13.56MHz±0.005%
功率输出范围：5W-500W
最大反射功率：200W
射频输出接口：5Ω，N-type，female
功率稳定度：±0.1%
谐波分量：-50dbc
供电电压：单相交流（187V-253V），频率50/60Hz
整机效率：≥70%
功率因素：≥90%
冷却方式：强制风冷
供气系统
外形尺寸：600*600*650mm
连接头类型：双卡套不锈钢接头
标准量程（N2）：100sccm、200sccm、500sccm
准确度：±1.5%
线性：±0.5%~1.5%
重复精度：±0.2%
响应时间：气特性：1~4Sec，电特性：10Sec
工作压差范围：0.1~0.5MPa
最大压力：3MPa
接口：φ6，1/4"
显示：4位数字显示
工作环境温度：5~45高纯气体
内外双抛不锈钢管：φ6
压力真空表：-0.1~0.15MPa，0.01MPa/格
截止阀：φ6
低真空机组
技术参数：
功率：0.4KW（4级）
极限压力：5*10-1（Pa）
外型尺寸：600*600*650mm
电阻真空计参数：
1.配用规管：电阻规
2.测量范围：105—5*10-1Pa
3.测量路数：1路
4.控制范围：5*103—5*10-1Pa
5.控制方式：继电器触点输出，负载能力AC220V/3A（或DC28V/3A)无感负载
6.电源：90-260V/50Hz或220V±10% 50Hz
7.功耗：20W
预热炉
工作温度：350℃
最高温度：400℃
最快升温速率：30℃/min
推荐升温速率：10℃/min
控温方式：智能化30段可编程控制
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