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有色金属化学分析技术理论与应用

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禽类养殖场除臭剂的制备方法

本发明公开了一种禽类养殖场除臭剂的制备方法,属于环境保护技术领域。本发明是以家禽粪便作为培养基质对蚯蚓进行培养,得到蚯蚓粪后放入炭化炉进行炭化处理,再取新鲜柿子皮粉碎后加入乙醇作有机溶剂对其进行超声提取,提取液再以非离子表面活性剂和辅助萃取剂进行萃取得到柿子皮多酚物质,将蚯蚓粪和柿子皮多酚混合,以淀粉为交联剂反应后真空冻干粉碎包装即得一种禽类养殖场除臭剂。实例证明,本发明简单易行,不仅不添加化学药剂,安全、卫生,而且除臭效果显著,对于环境和人体以及畜禽本身没有任何危害,检测后,测得除臭率达到了90%以上。

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化学分析
江苏 - 常州 来源:北方有色网 2023-03-19
多功能智能建筑环保车及其控制方法

本发明公开了一种多功能智能建筑环保车及其控制方法,该环保车包括车体、储水箱、太阳能板和控制箱,其中:储水箱安装在车体的后斗处,太阳能板安装在储水箱的顶部,且太阳能板为可伸缩式结构;储水箱内设置有污水处理装置,污水处理装置分为3层结构,包括物理处理过滤装置、化学处理过滤装置和微生物处理过滤装置;储水箱靠近车尾一侧的底部设置有进水口,进水口内设置有水质检测器;储水箱靠近车头一侧的底部设置有出水口,储水箱的顶部还设置有降尘喷淋雾炮和加湿器,降尘喷淋雾炮和加湿器均与出水口相连;储水箱上还设置有空气监测器和光能感应器。本发明利用太阳能发电,灵活高效,节能环保,协调智能地解决施工过程中的各种建筑污染问题。

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化学分析
湖北 - 武汉 来源:北方有色网 2023-03-19
益生菌及有机酸的混合体培养方法及其用途

本发明公开了一种益生菌及有机酸的混合体培养方法,将食用型成熟葡萄破碎,加入酵母后升温至25?28℃,厌氧发酵,待生物化学稳定,恢复至常温,澄清后,固液分离,得到原液, 调和原液碳水化合物与酒精的比例, 使得其中含糖9?11%,含酒精3?5%即可, 装进储备罐备用;检测备用的培养基料,在其没有杂菌和异味的情况下, 引入己有的经长期培养并测试效果好的相互兼容的待用菌种作为培养源, 在90?100天和环境温度25?35c℃下半厌氧状态下培养,生成益生菌及有机酸混合液体。

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化学分析
安徽 - 合肥 来源:北方有色网 2023-03-19
光催化原位表征系统
光催化原位表征系统 1000     
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一种光催化原位表征系统,用于光催化剂表面反应过程及有机物环境光化学过程研究,包括超高真空腔体、原位质谱模块、原位反射红外光谱模块、能谱模块、样品表面刻蚀及清洗部件、样品操纵台、在线更换样品部件、真空泵组、原位光照组件和气体进样部件。利用本发明,可以对固相样品表面进行原位刻蚀及清洗,并可以系统研究(光)催化反应过程中固相催化剂表面及气固、液固界面上的反应细节,如反应物吸附模式、分子特征基团变化、表面元素种类定性测试、催化反应或程序升温过程中间产物原位定性定量检测等。

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化学分析
北京 - 北京 来源:北方有色网 2023-03-19
抗骨质疏松类中药的质量评价方法

本发明关于一种基于抗骨质疏松生物效价测定的中药质量评价方法,该质量评价方法以生物效价作为评价指标;具体地,是以抑制破骨细胞作用的生物效价和促进成骨细胞作用的生物效价作为评价指标。本发明所述质量评价方法可以对中药复杂成分的药效进行整体控制,其可作为传统化学检测手段的有效补充,直接反应临床有效性,是一种真正符合中医药传统理论、体现中药临床应用特点、保证中药安全有效的质量控制与评价方法。

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化学分析
北京 - 北京 来源:北方有色网 2023-03-19
氟化石墨烯改性环氧树脂涂层的制备方法

本发明公开了一种氟化石墨烯改性环氧树脂涂层的制备方法,涉及化学技术领域,具体为一种氟化石墨烯改性环氧树脂涂层的制备方法,包括以下步骤:S1:实验药品准备、实验仪器准备;S2:通过改进hummers法制备氧化石墨烯。该氟化石墨烯改性环氧树脂涂层的制备方法,通过采用氢氟酸(HF)与氧化石墨烯(GO)反应制得氟化石墨烯(FG),再将氟化石墨烯(FG)加入到环氧树脂中制备复合材料,探究氟化石墨烯(FG)改性环氧树脂(EP)涂层的附着力、耐蚀性能的影响,方法通过FTIR、XRD、SEM等检测设备研究了氟化石墨烯FG的表面形貌、微观结构与涂层腐蚀防护性能,通过附着力测试研究氟化石墨烯(FG)对涂层致密性的影响。

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化学分析
四川 - 自贡 来源:北方有色网 2023-03-19
评价PM2.5致肺损伤的快速功能磁共振成像方法

本发明公开了一种评价PM2.5致肺损伤的快速功能磁共振成像方法,对大鼠进行持续麻醉,并送入磁共振扫描仪的腔体内,进行质子定位像扫描,获取大鼠肺部的位置信息;将超极化惰性气体输送到大鼠肺部;获得不同扩散敏感因子b下大鼠的肺部多扩散敏感因子扩散加权快速磁共振图像;获得不同交换时间τ下大鼠的肺部化学位移饱和恢复快速磁共振波谱;获得肺泡管内径r与肺泡管外径R;计算得到肺泡深度h、表面体积比SVR、和平均内衬间隔Lm,本发明测量方式无侵入、无电离辐射、扫描时间短,可减轻受试者在检测过程中的痛苦;获得了活体内受试者肺部的气体交换功能信息。

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化学分析
湖北 - 武汉 来源:北方有色网 2023-03-19
可见光波段石英荧光光纤及制备方法

本发明属于光纤制备技术领域,具体涉及一种可见光波段石英荧光光纤及制备方法,通过将改进的化学气相沉积(MCVD)与高温掺杂工艺结合或外部气相沉积(OVD)与溶液浸泡法结合,制备稀土离子掺杂的可见光波段(350‑750nm)石英荧光光纤。本发明的石英荧光光纤具有高折射率差,损耗低,稀土离子掺杂均匀,掺杂浓度可控,荧光波段宽,荧光量子产率高,光纤石英纯度高和机械性能优异等优点,可以广泛应用于辐射检测、电力传感、生物监测和荧光照明等领域。

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化学分析
上海 - 上海 来源:北方有色网 2023-03-19
用于药物ADME研究的高密度3D肝细胞球体平台

本公开涉及用于评价候选化合物对体外培养中的3D肝细胞球体的相互作用的方法,包括评价候选化合物的代谢,以用于各种生物化学和分子生物学研究。所述方法在实验室器具中进行,其将3D球体培养与微图案化设计结合,使得允许在相同条件下处理多个至几百个球体,并且产生足够的材料(例如,母体药物,药物代谢产物,细胞的DNA、RNA和蛋白质)和更高的检测信号强度以用于ADME/Tox(吸收、分布、代谢、排泄和毒性)研究。所述方法除了其他用途外,尤其便于研究和生成准确的体外内在清除率数据,因此更准确地预测体内清除率,特别是对于低清除率化合物而言。

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化学分析
其他 - 其他 来源:北方有色网 2023-03-19
新型氟代高相变温度铁电材料及其合成方法、应用

本发明公开一种以有机‑无机杂化钙钛矿以及反钙钛矿为原料的设计高相变温度铁电材料的设计合成方法,并用该方法设计合成了四种新型高相变温度铁电材料。杂化钙钛矿其化学通式为ABX3,其中A为有机阳离子,B为金属阳离子,C为无机阴离子;反钙钛矿结构通式为X’3B’A’,其中X’为有机阳离子,B’为无机阴离子,C’为另一种无机阴离子。通过调节其中A的类型材料,可以获得高相变温度的铁电材料。此设计方法为用氟选择性取代杂化钙钛矿(或反钙钛矿)中A(或X’)部分的氢,可以使材料具有高相变温度以及铁电性。本发明还基于这种材料,公开了一种用于检测的器件及其器件制备方法。可用于测试材料的铁电性、光伏效应等。

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化学分析
江苏 - 南京 来源:北方有色网 2023-03-19
用于抗肿瘤药物载体的石墨烯基纳米材料及制备方法

用于抗肿瘤药物载体的石墨烯基纳米材料及制备方法,其特征在于,结合X‑射线衍射仪、傅立叶变换红外光谱仪、原子力显微镜、紫外分光光度计测试发现,功能化的氧化石墨烯纳米片横向尺寸小于200nm,厚度小于2nm,药物成功担载在氧化石墨烯纳米片上,复合物在细胞培养液中不发生大面积的聚集,可进入到细胞内;CCK‑8法结合倒置荧光显微镜体外检测实验表明,复合溶液具有较强的抗人神经胶质瘤U251细胞作用。基于石墨烯基纳米材料独特的纳米结构和优异物理化学、生物学特性,是一种潜在的分子靶向治疗药物。

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化学分析
吉林 - 长春 来源:北方有色网 2023-03-19
芴基水杨醛联肼类衍生物及其制备方法和应用

本发明涉及生物化学检测技术领域,具体涉及一种芴基水杨醛联肼类衍生物及其制备方法和应用。该类化合物可以自由进出细胞并特异性的在细胞内脂滴处富集,由原来的无荧光变为强烈荧光,同时在分子内激发态质子转移机制(ESIPT)的作用下,展现了较大的斯托克斯位移,表现为黄色、橙红或红色荧光,同生物体外的固态荧光相比,基本没有位移,可以准确的判断探针定域位置,从而实现对细胞脂滴结构、行为和生理过程的监测,在生物、医疗、健康和能源领域,具有极其广阔的应用前景。

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化学分析
广东 - 深圳 来源:北方有色网 2023-03-19
高含乳化油污水的净化方法

本发明提供了一种高含乳化油污水的净化方法,在高含乳化油污水中加入破乳剂,每升高含乳化油污水中加入1.0‑5.0mg所述的破乳剂,然后将高含乳化油污水输入管道混合器中,充分混合,再利用高速分散泵对高含乳化油污水进行高速分散处理,处理后的液体输入到油水分离器,经过反应后,上浮的油定期排放或通过油水界面检测仪监测后通过收油口排出,净化后的水经过出水口出,如此,高含乳化油的污水得到净化。本发明还提供了实现上述净化方法的装置。本发明利用油气田污水中乳化油比重小,并存在油包水、水包油形态下,利用机械和化学处理相结合的方法,实现快速破乳和污水净化的目的。

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化学分析
上海 - 上海 来源:北方有色网 2023-03-19
原位评价金属催化剂还原性能的装置

本发明公开了一种原位评价金属催化剂还原性能的装置,包括紫外‑可见分光光度计、可拆卸式支架以及带有旋塞的石英比色瓶,所示的可拆卸式支架包括底座及设置在所述底座上端面的试管座,所述试管座内径尺寸与石英比色瓶相匹配,所述底座的两端设置有固定螺钉。本发明结构简单、操作方便,能方便的使用定制尺寸的比色瓶,同时,能够适用于检测含挥发性有机物质及对氧气敏感的化学物质,能反应待测物质的真实情况。

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化学分析
广东 - 广州 来源:北方有色网 2023-03-19
采用大豆过氧化氢酶标记的生物芯片及其制备方法

本发明公开了一种采用大豆过氧化氢酶标记的生物芯片及其制备方法,该芯片包括捕获单克隆抗体包被的硝酸纤维素膜、生物素标记多克隆抗体、大豆过氧化氢酶标记的链酶亲和素以及大豆过氧化氢酶所作用的发光底物液,其中,捕获单克隆抗体和生物素标记多克隆抗体均可以同待测抗原特异性结合。本发明使用大豆过氧化氢酶代替现有技术中的辣根过氧化氢酶作为标记酶制备生物芯片,可以持续较长时间的强化学发光,检测灵敏度能够获得大大提高。

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化学分析
江苏 - 无锡 来源:北方有色网 2023-03-19
N掺杂3D石墨烯/石墨锂离子电池负极材料的制备

本发明属于电化学领域,提供了一种N掺杂3D石墨烯/石墨锂离子电池负极材料的制备方法,称取氧化石墨、抗坏血酸和尿素溶解于水后超声分散加热至形成粘稠的半凝胶状态,加石墨继续搅拌后形成更浓稠的物质。将混合浓稠物移至高压反应釜中继续反应,取出样品抽滤、洗涤、烘干,在管式炉中煅烧后得到N掺杂3D石墨烯/石墨复合电极材料。将电极活性材料与乙炔黑和聚偏氟乙烯粘结剂混合均匀,涂于铜箔表面制成电池电极片,在手套箱中组装成半电池并对其进行充放电性能测试。经过检测发现,N掺杂石墨烯/石墨复合电极材料在0.2C倍率下容量仍有500mAh/g,循环100次后充放电比容量仍能保持90%以上,具有良好的倍率性能和循环稳定性。

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化学分析
江苏 - 无锡 来源:北方有色网 2023-03-19
IHC、组织载片流体交换可置换件和系统

一种用于免疫组织化学的设备和方法,包括载片保持器组件夹具、载片保持器、载片保持器框架和载片保持器框架组件,该载片保持器框架组件适于放置成与驱动力连通,以将流体抽吸通过载片保持器。载片保持器可包括注射端口,该注射端口允许一致地输送和回收流体,同时最小化气泡引入。载片保持器可包括:储存器,其允许填充、浸泡、漂洗、冲洗组织、用抗体均匀地覆盖组织,以及减少处理时间、空间和误差;以及一个或更多个样本腔室。载片在载片保持器中的定向允许目测标签信息和组织,以确认充分的抗体覆盖。多端口框架允许同时执行多次化验,并且能够从真空歧管移除,并且允许从真空歧管容易地传送到孵化箱/冰箱以及传送回来。

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化学分析
其他 - 其他 来源:北方有色网 2023-03-19
水下透明的二氧化硅纳米纤维基底及其制备方法和在循环肿瘤细胞捕获方面的应用

本发明公开了一种水下透明二氧化硅纳米纤维基底及其制备方法和在循环肿瘤细胞捕获方面的应用。本发明将水解的正硅酸乙酯聚合物溶液,通过静电纺丝技术覆盖在基底表面,然后经过烘箱保温进行进一步水解;最后,经过高温煅烧处理,得到水下透明的二氧化硅纳米纤维基底;经过进一步生物化学表面抗体修饰,可用于循环肿瘤细胞的富集和检测。本发明制备的基底具有捕获循环肿瘤细胞效率高、灵敏度高等特点,可用于癌症病人的临床诊断。同时被该基底捕获的肿瘤细胞活性高,可进行实时监测,并提供细胞形态等相关信息,对于肿瘤细胞的后续研究具有潜在意义。

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化学分析
北京 - 北京 来源:北方有色网 2023-03-19
抗人多囊蛋白-1N端多克隆抗体PAPC1

本发明涉及医药分子生物学、免疫学检测技术领域,是一种抗人多囊蛋白-1N端多克隆抗体PAPC1,可用于制备研究常染色体显性遗传性多囊肾病发病机制的试剂。本发明根据人类多囊肾病1基因(PKD1)的cDNA序列和其编码产物——多囊蛋白-1(PC-1)的分子结构,采用分子生物学技术克隆到编码PC-1的cDNA,并构建其原核表达载体,在大肠杆菌中诱导表达出PC-1N端的融合蛋白(PC-1的flank-LLR-flank区和部分WSC区),以此为抗原免疫动物制备抗血清,并对其进行纯化得到多克隆抗体PAPC1。经针对多囊蛋白-1N端的综合性能指标测试,该抗体在免疫组织化学、酶联免疫吸附、免疫印记和免疫沉淀实验中性能稳定,敏感性高,特异性强,故可用于制备研究常染色体显性遗传性多囊肾病发病机制的试剂。

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化学分析
上海 - 上海 来源:北方有色网 2023-03-19
用于硫化氢采集和保存的溶液

本发明公开了一种用于硫化氢采集和保存的溶液,该溶液组成成分如下:三乙醇胺;乙二胺四乙酸二钠;氢氧化钠;去离子水;该溶液的制备方法包括以下步骤:用15ml三乙醇胺,4g氢氧化钠和4g乙二胺四乙酸二钠溶于去离子水并定容至1升;所有的试剂均为常用低毒的试剂,解决了硫化氢采集在溶液中保存时间不长的问题,样品的保存时间从广泛使用的氢氧化镉悬浊液作为吸收的保存于暗处6小时内完成测定提高到可在室温需避光保存下可稳定10天以上;使用本方案中制备的溶液采集空气中硫化氢,各项性能指标均达到了职业卫生标准制定指南中工作场所空气中化学物质里面的要求;在应急事故现场检测时,该溶液显色后颜色保持大于2天。

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化学分析
广东 - 广州 来源:北方有色网 2023-03-19
有载开关在线智能滤油机

本发明涉及电力化学环保技术领域,特别是指一种有载开关在线智能滤油机,包括过滤器、吸水滤芯、精密过滤器,在运行有载开关的油箱两端分别设有进油口和出油口,所述进油口通过管道依次连接过滤器、吸水滤芯、精密过滤器,最终连接出油口,所述进油口至过滤器之间依次连接水份检测仪和进油电磁阀,所述过滤器至吸水滤芯之间依次连接排油泵、压力控制器和压力表,所述吸水滤芯至精密过滤器之间依次连接单向阀和压力表,所述精密过滤器至出油口之间依次连接取样阀和出油口电磁阀。与现有技术相比,本发明的有益效果是:本发明的有载开关在线智能滤油机,在线实时监测油质,有效净化油质,减少了变压器停电次数,提高了变压器设备的可用率。

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化学分析
江苏 - 泰州 来源:北方有色网 2023-03-19
晶圆后处理系统和方法
晶圆后处理系统和方法 1038     
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本发明涉及化学机械抛光后处理技术领域,公开了一种晶圆后处理系统和方法,系统包括:晶圆提升装置,用于从清洗液中提拉浸入清洗液的晶圆;气体喷射装置,用于在晶圆从清洗液中提升的过程中,向晶圆表面附着的清洗液的弯液面区域喷射第一温度的干燥气体,以使晶圆表面的附着物按照与提升方向相反的方向从晶圆表面剥离;液面监测装置,与气体喷射装置连接,用于检测弯液面区域的位置以使气体喷射装置喷射的干燥气体对准该弯液面三相接触线区域。

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化学分析
北京 - 北京 来源:北方有色网 2023-03-19
体外培养制备AFP单克隆抗体的方法及其应用

本发明公开了一种体外培养制备AFP单克隆抗体的方法,首先复苏杂交瘤细胞,制备种子细胞;将无菌的中空纤维系统内循环系统的进液端和PBS/培养基供应瓶连接,出液端和废液瓶连接,将中空纤维系统外循环系统的进液端和PBS/培养基供应瓶连接,出端和废液瓶连接用PBS和培养基对其进行润洗;然后将种子细胞导入;培养过程中持续进行葡萄糖和乳酸的监测,去除代谢废物,同时不断补充新鲜的培养基,采用20L桶进行培养基的储备,减少操作频次;收获的培养上清进行亲和纯化后得到抗体浓度5mg/mL,纯度95%以上的单抗成品。本发明制备的单抗特异性好,灵敏度高且效价高,用于AFP化学发光检测试剂盒中,能大大提高试剂盒的灵敏度、特异性和稳定性。

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化学分析
河南 - 郑州 来源:北方有色网 2023-03-19
基于卷积神经网络的X光图像下矿石分选方法及系统

本发明涉及一种基于卷积神经网络的X光图像下矿石分选方法及系统,包括以下步骤:人为选定不同种类的矿石作为样本通过X光机;根据矿石原始通透率矩阵数据,对矿石内部图像进行染色;将染色后的图像进行分类标记,通过卷积神经网络进行训练,生成识别模型;将待识别矿石通过X光机并进行染色后,预测出待识别矿石的种类及位置。通过计算机人工智能的方式,使用X光机对于矿石内部进行成像,将X光机成像的染色图进行深度学习卷积神经网络的训练,可以在不进行其他化学检测手段外,模拟人的经验对于矿石分配评估的方式,对矿石含量等级进行识别预判,此方式接近人为分选的准确度,在分选行业公差内,可以实现实时、快速、成批量、低成本的分选。

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化学分析
天津 - 天津 来源:北方有色网 2023-03-19
铕、铥共掺杂的铝硅酸锶电子俘获型光存储材料及其制备方法

本发明公开了一种铕、铥共掺杂的铝硅酸锶电子俘获型光存储材料及其制备方法,所述电子俘获型光存储材料的化学式为Sr1‑y‑xAl2Si2O8:yEu2+,xTm3+,其中,0.001≤y≤0.04,0.005≤x≤0.08。本发明所述的制备方法为高温固相法,原料简单易得,价格低廉,适用于批量大规模生产。本发明制备的光存储材料与以往材料相比,性能极大提升,在光存储性能测试中,共掺杂样品的光激励发光初始强度与单掺杂Eu2+相比均有明显提高,既适用于新型在近紫外被宽带激发的白光LED蓝光荧光粉,也是一种高性能的光信息存储材料,适于在医疗检测、电子通讯、电子显微镜照相和信息存储等多个应用领域。

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化学分析
辽宁 - 大连 来源:北方有色网 2023-03-19
鼠源IGG核酸适配子及其制备方法和应用

一种鼠源IGG核酸适配子,其特征在于它是具有序列表中SEQ ID NO.1~SEQ ID NO.18的核苷酸序列之一;制备方法包括:(1)用PCR制备SSDNA文库、(2)反筛与筛选、(3)克隆及阳性克隆的序列测定;应用:其特征在于在实验室、临床及工业化的应用,包括用于鼠源IGG的检测、鼠源IGG的分离纯化。本发明的优越性:本身是寡核苷酸,分子量较小,可以化学合成,节约成本;具有比抗体更高的亲和性和特异性;便于标记且可以在不同部位有选择性的标记;重复性和稳定性好,且易于保存,即对高温和剧烈条件不敏感;因此,SELEX技术具有良好的应用前景,特别是在抗体工程领域。

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化学分析
天津 - 天津 来源:北方有色网 2023-03-19
敏感电极、其制备方法以及使用它的生物传感器及其应用

本发明提供了一种敏感电极、其制备方法以及使用它的生物传感器及其应用;所述敏感电极包括电极和沉淀在电极表面的氧化物以及包载在氧化物表面的金属卟啉配合物;所述敏感电极通过在电极上沉淀和包载二氧化钛和金属卟啉配合物,可以增加敏感电极的传感效果、检测灵敏度以及催化活性;制备的敏感电极不会消解电极底物,可以增加敏感电极的长效性;敏感电极的制备方法简单,原料易得,价格低廉,可用于工业化生产;以制备的敏感电极为工作电极应用于生物传感器中,通过将化学信号转化为电信号,可用于对皮质醇进行实时监测,从而评估人体应激系统的连续性变化规律。

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化学分析
广东 - 深圳 来源:北方有色网 2023-03-19
采用手性金纳米通道识别氨基酸对映体的方法

一种采用手性金纳米通道识别氨基酸对映体的方法,属于离子通道构建和手性识别技术领域。本发明将手性纳米通道放置在带孔的电解质样品池中间作为离子通道,采用电化学测试含有不同对映体的氨基酸的离子传输信号,即可实现不同氨基酸对映体的识别。使用该方法可以实现数十种氨基酸构型的识别。其中目前已知的氨基酸中,色氨酸的对映体识别灵敏度最高。本发明的方法通过离子传输实现手性构型的识别,为手性检测新方法的建立和离子通道的应用扩展提供了巨大的可能。

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化学分析
江苏 - 无锡 来源:北方有色网 2023-03-19
样品池以及基于傅里叶变换的红外光谱仪

本公开实施例提出一种样品池以及基于傅里叶变换的红外光谱仪,所述样品池包括呈锥台形状的池体,所述池体具有顶面、底面以及位于所述顶面和所述底面之间的锥面,在所述底面上设置用于容纳ATR晶体的凹部,在所述锥面上设置分别实现气氛的进气或者排气功能的第一气氛接头和第二气氛接头。本公开实施例能够通过例如位于ATR晶体上方的压力杆固定在ATR附件上,通过气氛接头以及第一密封件和第二密封件从而实现空腔内的原位反应气氛的精确控制,从而能够适应于在需要环境控制的原位化学反应对流体的待测样品实现气氛环境下反应过程的实时追踪和光谱检测。

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化学分析
浙江 - 杭州 来源:北方有色网 2023-03-19
半导体基板的刻蚀装置和方法

半导体刻蚀工艺是一种通过物理化学反应来移除基板表面物质的工艺,通常分为干法刻蚀和湿法刻蚀两大类。由于刻蚀工艺对机台设备的要求相对较低,工艺也比较简单,所以在半导体加工行业中得到了广泛地应用。但是,如何控制湿法刻蚀中的刻蚀速率一直是行业内公认的技术难点。本发明提供的基板刻蚀装置具有厚度检测模块,通过测量基板的厚度来调节刻蚀速率,达到了很好的效果。

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化学分析
上海 - 上海 来源:北方有色网 2023-03-19
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