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有色金属真空冶金技术理论与应用

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粉末冶金法制备Ti2AlNb合金的方法

本发明公开的一种粉末冶金法制备Ti2AlNb合金的方法,具体按照以下步骤实施:步骤1、按合金成分配方Ti‑22Al‑(27‑x‑y)Nb‑xV‑yTa(其中0<x≤5,0<y≤5)称取Ti、Nb、V、Ta、Ti70Al30(at.%)中间合金和ZrO磨球,采用高能球磨法对称取的合金原料进行高能球磨制取纳米级合金粉体并退火处理;步骤2、将步骤1制得的纳米级合金粉体,在放电等离子热压烧结炉中进行反应烧结制取Ti2AlNb合金烧结试样;步骤3、对步骤2所得Ti2AlNb合金烧结试样进行固溶与时效处理后即可得到最终的Ti2AlNb合金试样。

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陕西 - 西安 来源:中冶有色网 2023-03-18
耐等离子刻蚀陶瓷及其制备方法和等离子刻蚀设备

本发明涉及一种耐等离子刻蚀陶瓷及其制备方法和等离子刻蚀设备。上述耐等离子刻蚀陶瓷的制备方法包括如下步骤:按质量百分比计,称取如下原料:纳米级氧化钇粉体64.7%~100%及纳米级氧化锆粉体0%~35.3%,纳米级氧化钇粉体的纯度不低于90.0%;将原料进行烧结,得到耐等离子刻蚀陶瓷,其中,烧结温度为1600℃~2000℃,烧结时间为1h~2h。上述耐等离子刻蚀陶瓷的制备方法能够使制备得到的陶瓷的耐刻蚀性较好,且致密度高、力学性能较好。

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广东 - 深圳 来源:中冶有色网 2023-03-18
钕离子掺杂氟磷酸锶透明陶瓷的制备方法

本发明涉及氟磷酸锶分体的合成技术领域,具体涉及一种钕离子掺杂氟磷酸锶透明陶瓷的制备方法,包括以下步骤:(1)制备纯相氟磷酸锶纳米粉末;(2)将所得混合粉末进行烧结;烧结预烧温度为900‑1100℃,保温3‑5小时,然后再升温至1200‑1350℃进行热处理,保温1‑3小时,烧结完毕后冷却至室温得到烧结后的样品;(3)将烧结后的样品进行粗磨和抛光,即得到钕离子掺杂氟磷酸锶透明陶瓷。本发明通过控制烧结条件,制备出氟磷酸锶透明陶瓷,本发明的制备方法与其他技术相比具有成本低廉,对设备要求低,产量大等优势。本发明的方法制备的钕离子掺杂氟磷酸锶透明陶瓷,其密度约为99%,近红外波段透过率大于40%。

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湖北 - 武汉 来源:中冶有色网 2023-03-18
高密度HfO<sub>2</sub>靶材的制备方法

本发明公开了属于陶瓷靶材技术领域的一种高密度HfO2靶材的制备方法。本发明利用碱性溶剂对HfO2粉体预处理,将预处理后粉体置于马弗炉、热压炉中烧结,然后粉碎、过筛,再置于热压炉中进行三段式热压烧结,最后随炉冷却,得到HfO2靶材;所得HfO2靶材外观呈均匀灰色,相对密度达到85%~95%,具有高强度、不易开裂的特点,适用于溅射制备光学薄膜。

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北京 - 北京 来源:中冶有色网 2023-03-18
富铈稀土含量烧结Nd-Fe-B磁体的工艺

本发明公开了一种富铈稀土含量烧结Nd-Fe-B磁体的工艺,其特征在于,?包括以下步骤:步骤1:按照以下组分配置原料:Nd?:重量百分比为24.5%-27.5%;Fe?:重量百分比为52.5%-57.5%;B?:重量百分比为0.96%-1.15%;富铈稀土?:重量百分比为17.0%-18.5%;其中,富铈稀土包括Ce和La,Ce占富铈稀土的不少于45%重量百分比含量;步骤2:将配置好的原料进行熔炼,得到厚度为0.5mm-0.8mm?的速凝片,采用储量丰富、价格低廉的轻稀土Ce、La元素替代烧结钕铁硼中的中重稀土,在保证磁体性能的同时,显著降低材料成本,增强了烧结钕铁硼永磁材料的市场核心竞争力,具有广阔市场前景。

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四川 - 成都 来源:中冶有色网 2023-03-18
微波烧结Cu20Fe80合金
微波烧结Cu20Fe80合金 1253     
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为了改善粉末合金的硬度、耐磨性,设计了一种微波烧结Cu20Fe80合金。采用Cu粉,Fe粉和La2O3粉为原料,所制得的微波烧结Cu20Fe80合金,其硬度、致密化程度、抗弯强度都得到大幅提升。其中,随La2O3质量分数的增加,Cu20Fe80合金复合粉体机械合金化增强,致密度和硬度先增加后减小,La2O3质量分数较低时可以细化组织使合金性能提高,当La2O3质量分数较高时,稀土氧化物容易在晶界处聚集,从而恶化了基体的连续性,使材料的性能降低。质量分数为1%时的强度和致密度最佳。本发明能够为制备高性能的Cu20Fe80合金提供一种新的生产工艺。

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辽宁 - 沈阳 来源:中冶有色网 2023-03-18
多孔Ti-Al基合金材料、制备方法及其应用

本发明公开了一种多孔Ti-Al基合金材料、制备方法及其应用,本发明中以Ti粉和Al粉作为原料,采用金属粉末注射成形技术制备得到多孔Ti-Al基合金材料。该多孔材料的制备过程中不加造孔剂,而是利用Al和Ti之间扩散系数的差别,Al在Ti中扩散获得高孔隙度的材料。采用该方法制备的多孔Ti-Al基合金材料为近净成形,孔隙内部清洁环保,可作为一种植入材料应用于医用植入等领域。

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广东 - 广州 来源:中冶有色网 2023-03-18
POM基陶瓷注射成型材料及其制备方法

一种POM基陶瓷注射成型材料及其制备方法,该材料中粘结剂和纳米陶瓷粉末的质量比为1‑1.5:9‑8.5,纳米陶瓷粉末包括质量百分比84.0%‑92.0%的氧化锆、3.0%‑6.0%的氧化钇、2.0%‑4.0%的氧化镁、3.0%‑6.0%的氧化锌晶须;粘结剂包括质量百分比4‑8%的硬脂酸、3‑5%聚甲基丙烯酸甲酯、6‑12%的聚丙醛、5‑8%的聚乙烯蜡、7‑10%的巴西棕榈蜡、65‑75%的聚甲醛。该POM陶瓷注射成型材料能够很好地避免产品烧结后发生的变形,大大地减少了加工余量,降低了加工成本。

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广东 - 东莞 来源:中冶有色网 2023-03-18
不粘锅及其制备方法
不粘锅及其制备方法 1216     
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本发明的一种不粘锅及其制备方法,不粘锅包括锅基体、缓冲层以及复合金属陶瓷层,缓冲层设置于锅基体与复合金属陶瓷层之间,其中,缓冲层为铝化钛层,复合金属陶瓷层包括碳化锆、碳化钨、碳化钼、碳化钽以及碳化硅。从而不粘锅不仅使用安全健康,而且提高复合金属陶瓷层耐磨、耐热以及不易脱落的性能。

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浙江 - 宁波 来源:中冶有色网 2023-03-18
含Co+Ni,TiC+TaC的WC-Co基硬质合金

为了改善WC‑Co硬质合金的硬度、耐磨性,研制了一种含Co+Ni,TiC+TaC的WC‑Co基硬质合金。采用锥柱型A、蘑菇头型B、礼帽型C的硬质合金刀头为原料,稀土元素的添加能够提升硬质合金的力学性能。其对硬质合金力学性能的提升主要体现在稀土元素能够抑制烧结过程中硬质合金晶粒的长大,防止硬质合金内部的元素产生烧蚀。所制得的硬质合金试样的主要成分均为WC和Co,说明稀土元素的添加能够防止烧结过程中化学元素的烧蚀。所制得的含Co+Ni,TiC+TaC的WC‑Co基硬质合金,其硬度、致密化程度、抗弯强度都得到大幅提升。本发明能够为制备高性能的WC‑Co基硬质合金提供一种新的生产工艺。

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辽宁 - 沈阳 来源:中冶有色网 2023-03-18
Ti(C,N)基金属陶瓷及其制备方法和应用

本发明涉及一种Ti(C,N)基金属陶瓷及其制备方法和应用,属于金属陶瓷技术领域。该Ti(C,N)基金属陶瓷由以下质量百分比的原料制成:Ti(C0.5,N0.5)40‑55%、Ti(C0.3,N0.7)10‑25%、Ni10‑15%、Co10‑15%、Mo10‑20%、WC8‑12%、C0.5‑2%、TaC1‑5%、Y2O3、0.1‑01%。上述Ti(C,N)基金属陶瓷的原料中,考虑了C/N比,因此烧结过程的脱氮与脱碳现象平衡,不影响成品的致密度,不影响材料的性能,烧结过程也不用添加惰性气体,即可得到韧性好、硬度及强度高的金属陶瓷。具有生产简便、成本降低的优点,适用于工业推广。

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广东 - 湛江 来源:中冶有色网 2023-03-18
便于送料的钕铁硼永磁体加工方法

本方法公开了一种便于送料的钕铁硼永磁体加工方法,所述加工方法包括:a.打孔加工:将圆棒、方棒状磁铁打孔加工成圆筒状或方筒状磁铁;b.切割加工:通过钕铁硼永磁体切片设备将圆柱、方柱状磁铁经切片机切割加工成圆片状或方片状;c.外形加工:将圆柱、方柱状磁铁经切片机切割加工成圆片状或方片状;使得钕铁硼磁铁在进行切片处理时,无需胶水的粘连便可以实现固定的效果,从而避免胶水在钕铁硼上的粘连而导致清理的麻烦,提高了对钕铁硼的加工效率,同时,降低了对钕铁硼的加工成本,缩短了对钕铁硼的加工时间,十分的实用可靠。

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浙江 - 湖州 来源:中冶有色网 2023-03-18
轻质、吸波频带宽的磁性氧化铁基复合吸波材料

本发明涉及铁氧体系吸波材料技术领域,且公开了一种轻质、吸波频带宽的磁性氧化铁基复合吸波材料,包括:以纳米四氧化三铁(Fe3O4)为原料,制备得到微米级的四氧化三铁(Fe3O4)空心微珠,采用Hummers法以石墨粉末为原料,制备得到氧化石墨烯胶体,将制备的四氧化三铁(Fe3O4)空心微珠与氧化石墨烯胶体进行球磨、热压烧结处理,制备得到轻质、吸波频带宽的磁性氧化铁基复合吸波材料。本发明解决了目前单一体系的Fe3O4吸波材料,存在密度大(4.9~5.3g/cm3)、吸收频带较窄(一般在8~12GHz或8~18GHz)、在2~8GHz低频段吸收效果不理想的技术问题。

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广西 - 柳州 来源:中冶有色网 2023-03-18
碳钢防腐耐磨陶瓷涂层的制备方法

本发明公开了一种碳钢防腐耐磨陶瓷涂层的制备方法,属于陶瓷涂层制备技术领域。本发明以废弃玻璃和天然稀土矿石及陶瓷土为原料,经植物和微生物复合改性后配制成涂层浆料,涂覆在碳钢表面后烧结,从而得到碳钢防腐耐磨陶瓷涂层。本发明通过向浆料中添加富含金属离子的稀土,用来减少涂层与基材间的热膨胀系数,解决了基材与涂层间热膨胀系数差别较大,使涂层易变形,发生翘曲、开裂的问题,用富含官能团的委陵菜和微生物对浆料复合改性,增加涂层浆料表面官能团数量,使其与基材间形成化学键提高涂层与基材间的结合力,玻璃粉的加入使涂层致密性更高,又弥补了常见的金属陶瓷涂层与基材之间结合力差,形成的陶瓷膜致密性低的缺陷。

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江苏 - 常州 来源:中冶有色网 2023-03-18
轻质抗弯硬质合金及其制备方法

本发明公开了一种轻质抗弯硬质合金及其制备方法,以质量份计,原料中包括:氮化钛26‑38份、氮化镁20‑25份、氮化铝12‑19份、氮化钒9‑15份、碳化铪8‑16份、粘结剂为钴4‑8份。本发明制备的硬质合金抗弯性能好,且轻质,无分层,裂纹,抗冲击韧性、耐磨性、疲劳强度、断裂强度等均达到行业要求。

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山东 - 青岛 来源:中冶有色网 2023-03-18
不含重稀土烧结钕铁硼永磁体的制备方法

本发明公开了一种不含重稀土烧结钕铁硼永磁体的制备方法,降低B元素的含量,降低钕铁硼主相的体积分数,提高了晶界相的体积分数,增加金属Ga元素含量,从常温快速升温到300‑350℃后,不保温再直接缓慢升温到1050‑1070℃短暂致密化再自冷到1000‑1040℃进行低温烧结,本发明采用此烧结工艺,避免了常规烧结工艺台阶式的升温、保温脱气过程,缩短了永磁体烧结时间,提高了生产效率,节省了电能,同时该烧结过程,有利于气体的持续脱出,防止了永磁体内微小气孔的形成,增加了磁体密度,在不添加任何Dy、Tb、Ho等重稀土元素且不降低永磁体剩磁的条件下,能够稳定生产出不含重稀土元素的烧结钕铁硼永磁体。

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浙江 - 宁波 来源:中冶有色网 2023-03-18
反射式激光显示用光转换、散热一体化陶瓷材料及其制备方法

本发明公开了一种反射式激光显示用光转换、散热一体化陶瓷材料及制备方法,该材料由荧光陶瓷及具有高导热性能的(Al1‑xMx)2O3陶瓷在压力下烧结而成,其M为 La,Y,Gd,Mg,Si,Ca,Sr元素中的一种或两种,x为摩尔系数,0

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江苏 - 苏州 来源:中冶有色网 2023-03-18
气道托架一体式受电弓碳滑板及其生产方法

本发明公开了一种气道托架一体式受电弓碳滑板,包括支撑托架、碳条,所述支撑托架上端设置有安装槽,所述安装槽底部设置有定位板,所述安装槽底面粘接有所述碳条,所述碳条底面设置有内腔体;所述安装槽底面设置有密封沉孔和安装通孔,所述安装通孔内部安装有导气管,所述导气管的上端部采用T字形结构,所述导气管的T字型端头与所述密封沉孔之间安装有上部密封圈;所述支撑托架底部设置有底部密封槽,所述底部密封槽内部安装有底部密封圈。有益效果在于:通过内腔体和定位板构成气道,配合导气管形成循环气路,降低了连接端口的数量,同时连接处密封效果好,有助于提高装置的气密性;装置整体生产操作简单便捷,有助于提高生产效率。

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山西 - 大同 来源:中冶有色网 2023-03-18
B4C-Al复合材料制备方法
B4C-Al复合材料制备方法 1106     
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本发明涉及一种制备B4C-Al复合材料的方法。其特点包括以下内容:(1)采用高能球磨方式将一定比例的原料碳化硼粉末与铝合金粉末混合均匀;(2)将混合均匀的粉末压制成型;(3)将步骤(2)中压制成型的压坯在一定温度下进行烧结;(4)将步骤(3)中烧结好的烧结坯在一定温度下进行挤压;(5)将步骤(4)中挤压成型的材料在一定温度下进行多次热轧,获得B4C-Al复合物板材。采用本发明的制备方法,球磨效率高,制备过程基本无原料损失,制备出的B4C-Al复合物板材具有碳化硼分布均匀,力学性能良好的特点。有可能应用于中子吸收/屏蔽目的。

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四川 - 绵阳 来源:中冶有色网 2023-03-18
用于离心泵的碳化硅制品的制造方法

用于离心泵的碳化硅制品的制造方法,首先是准备压制粉料,所述的粉料中包括碳化硅微粉(70~85%)、酚醛和聚氨酯聚合剂(1~5%);将充分混合的粉料放入模具中,以压机压制成形成为模压坯件;将模压坯件阴干放置以消除应力;然后对模压坯件进行真空预烧并冷却;再进行精确的尺寸加工;最后,配置一个游离硅反应体,置于预烧后的坯件上方,采用反应烧结、六段烧结工艺法进行烧结。本发明克服了现有技术成品率低、无法加工尺寸产品和复杂形状的缺陷,做成离心泵使用寿命长,生产成本低。

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江苏 - 无锡 来源:中冶有色网 2023-03-18
背钝化晶体硅太阳能电池的制备方法及太阳能电池

本发明公开了一种背钝化晶体硅太阳能电池的制备方法及太阳能电池。本发明提供的方法包括步骤:在硅片正面形成绒面;在所述硅片正面进行P扩散,然后去除所述硅片正面的PSG和周边P扩散层;在所述硅片背面制备复合电介质膜,所述复合电介质膜中的各成分均匀分布;在所述硅片正面形成减反膜;在所述硅片背面形成背电极,在所述硅片正面形成正电极。相应的,本发明还提供一种采用本发明提供的方法制备的太阳能电池。采用本发明提供的方法可以有效提高太阳能电池的背钝化效果,进而提高太阳能电池的光电转换效率。

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浙江 - 杭州 来源:中冶有色网 2023-03-18
含金属间化合物粘结相的硬质合金的制备方法

本发明公开了一种含金属间化合物粘结相的硬质合金材料的制备方法,其特征是先制备Ni(OH)2包覆含碳Al(OH)3的复合粘结相,和Ni(OH)2包覆WC颗粒的复合硬质相, 二者混合后经过球磨、过滤、干燥等工序后压制成型,最后进行两段气氛烧结,即在低温下Ar/H2气氛中形成Ni与Al2O3,在高温下N2中Al2O3与周围C和N2反应生产AlN,AlN与Ni发生反应而形成Ni3Al,制成含金属间化合物粘结相的硬质合金。本发明克服了现有的技术中Al易氧化,破碎和均匀分散困难、易挥发损失和烧结迁移易形成孔隙的问题,在烧结过程中原位形成Ni3Al相,且实现在硬质相周围的均匀分布,制备出的硬质合金可用于切削刀具与抗氧化的零部件制造。

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四川 - 成都 来源:中冶有色网 2023-03-18
利用凝胶注模成型反应烧结制备钇铝石榴石透明陶瓷的方法

本发明涉及利用凝胶注模成型反应烧结制备钇铝石榴石透明陶瓷的方法,包括以下步骤:将氧化钇粉体、氧化铝粉体、烧结助剂湿法球磨混合均匀、干燥、过筛得到混合均匀的原料粉体,其中所述氧化钇粉体、氧化铝粉体的摩尔比为3:5;将混合均匀的原料粉体、分散剂、水溶性环氧树脂及固化剂与水球磨混合得到水基浆料,所述水溶性环氧树脂至少含有两个环氧基团且在水中溶解度不小于5%,所述水溶性环氧树脂与水的质量比为(0.05~0.5):1,所述固化剂与水溶性环氧树脂的质量比为(0.1~2):1;将所述水基浆料注入模具中,通过固化、脱模、干燥得到陶瓷素坯;对所述陶瓷素坯进行预烧和真空反应烧结得到所述钇铝石榴石透明陶瓷。

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上海 - 上海 来源:中冶有色网 2023-03-18
驱动电机用多主相高矫顽力钕铁硼永磁材料及其制备方法

本发明专利公开了驱动电机用多主相高矫顽力钕铁硼永磁材料及其制备方法,其重量组成最终配比:镨钕合金20~32%,镝0~10%,铽0~10%,硼0.95~1.0%,铜0~0.2%,铝0~1%,钴1~3%,铌0~1%,锆0~0.1%,镓0~0.3%,余量为铁和材料中少量不可避免的杂质。本发明还包括所述高矫顽力钕铁硼永磁材料的成分配比方法和制备方法。本发明提供的钕铁硼永磁材料具有较高的矫顽力和磁能积,能满足驱动电机的性能要求;采用此种方法制备高矫顽力钕铁硼磁体,可以降低磁体中重稀土用量,实现客户需求量的柔性调节,节约原材料和生产成本。

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湖北 - 十堰 来源:中冶有色网 2023-03-18
金属纤维多孔骨架复合相变材料热沉及其制造方法

本发明公开了一种金属纤维多孔骨架复合相变材料热沉,包括金属纤维多孔骨架、相变材料、热沉基体、散热翅片,热沉基体内设空腔且顶面设置有开口;金属纤维多孔骨架为填充于所述空腔内的金属纤维烧结而成,其孔隙率范围为75%~98%,且与热沉基体烧结成一体;相变材料采用真空加热灌注的方式被填充于金属纤维多孔骨架内部的孔隙中,灌注率为95%~100%,散热翅片密封设置于热沉基体的上方开口处,且与热沉基体焊接为一体。本发明还公开了一种金属纤维多孔骨架复合相变材料热沉的制备方法。本发明制造工艺简单、适用于批量制造、成本低廉,通过在相变材料内部嵌入金属纤维多孔骨架,增强了热沉内部相变材料的导热能力。

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广东 - 广州 来源:中冶有色网 2023-03-18
疲劳强度高的碳纤维增强聚甲醛复合材料及其制备方法

本发明公开了一种疲劳强度高的碳纤维增强聚甲醛复合材料及其制备方法,其特征在于,由下列重量份的原料制成:滑石粉5-7、聚甲醛90-100、碳纤维10-30、乙撑双硬脂酰胺0.3-0.5、抗氧剂10760.2-0.4、硅烷偶联剂KH-5700.3-0.6、氧化石墨烯2-4、纳米二氧化硅2-3;本发明添加的碳纤维预热处理后在聚甲醛中分散均匀,提高了材料的综合性能,添加的滑石粉经偶联处理增加了与聚甲醛塑料的相容性,和碳纤维协同作用提高了聚甲醛的抗疲劳强度,本发明具有造价低、环保、工艺操作简单、节省使用成本的特点。

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安徽 - 合肥 来源:中冶有色网 2023-03-18
阀门密封面热喷涂用复合粉末及其制备方法

本发明公开了一种阀门密封面热喷涂用复合粉末及其制备方法,涉及阀门制造技术领域,由如下质量份数的原料制成:钴合金粉50-55份、氧化铬12-15份、纳米陶瓷粉10-12份、聚乙烯醇10-12份、二氧化钛8-10份、甘油8-10份、膨润土5-8份、石墨粉3-5份、聚酯2-3份、水80-90份。本发明以钴合金粉为主要原料,并添加适量其他金属和非金属粉末,制得性质稳定的复合粉末,该粉末经热喷涂于阀门密封面后会在其表面形成一层坚硬且致密的涂层,该涂层具有较强的耐腐蚀、耐磨、耐高温和抗氧化性能,从而能够有效延长阀门的使用寿命。

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安徽 - 马鞍山 来源:中冶有色网 2023-03-18
具有自保护功能的硅‑蓝宝石压力传感器敏感结构

本发明属于先进传感器技术研究中的传感器优化设计的技术领域,具体涉及一种具有自保护功能的硅‑蓝宝石压力传感器敏感结构。本发明提出了一种具有自保护功能的硅‑蓝宝石压力传感器结构,主要用于解决高压测量时由于压力超出量程范围而造成传感器敏感膜片损坏,进而导致传感器失效的问题。该传感器结构主要包括钛合金壳体、钛合金应变膜片、蓝宝石膜片、单晶硅应变电阻、钛合金保护膜片、金属引线和支架。蓝宝石膜片上设置有单晶硅应变电阻,通过金属引线连接成电桥,并引出到传感器壳体外。本发明采用双膜片结构,可以有效保护压力传感器敏感膜片,避免其在被测压力超出压力量程范围时损坏。

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北京 - 北京 来源:中冶有色网 2023-03-18
铜基受电弓滑板复合材料的制备方法

本发明涉及一种铜基受电弓滑板复合材料的制备方法,属于受电弓滑板材料制备技术领域。本发明首先以石墨粉、钛粉以及铝粉等物质为原料,制备得到陶瓷坯体,将其进行高温烧结后,与预处理的石墨、铜粉进行球磨,得到复合材料粉料,最后将其进行压制、烧结和抛光处理,即可得到铜基受电弓滑板复合材料。本发明制备的铜基受电弓滑板复合材料对导线的磨耗较小,其摩擦系数低于0.07;且自身磨损量较小,磨损量低于1.9×10?4mm/km,延长其使用寿命。

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江苏 - 常州 来源:中冶有色网 2023-03-18
共溅射旋转靶材及其制备方法

本发明涉及薄膜的物理制备技术领域,具体是一种共溅射旋转靶材及其制备方法,其特征在于:包括旋转圆柱靶管及中心静止不动的磁铁,所述旋转圆柱靶管由不同形状的掺杂成份靶材单元和本体成份靶材单元以不同的形式分布在圆筒形支撑衬底上,掺杂成份靶材单元和本体成份靶材单元两者按照一定的排布规律分布。本发明将需要共溅射和共掺杂的靶材单元制作成不同的形状,以不同的形式分布在圆筒形支撑衬底上,而圆筒形支撑衬底的中心放置静止不动的磁铁,慢速转动实现磁控溅射,达到高均匀性共掺杂的目的,其靶材利用率也比较高。

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浙江 - 金华 来源:中冶有色网 2023-03-18
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