本发明公开了一种利用等离子体增强原子层沉积可控制备不同氧含量SiON薄膜的方法。本发明利用等离子体增强原子层沉积PEALD制备技术,通过使用前驱体四(二甲氨基)硅烷作为硅源,N2与O2等离子体作为氮源和氧源。将其同时通入反应腔体,通过调控N2与O2反应气体的流量比,在基底上实现氧含量精确可控的高质量SiON薄膜生长。相比其他传统的物理或化学镀膜方法,本发明制备方法生长温度低、简易高效,不仅可以实现SiON薄膜中氧氮含量的精确调控,而且可以达到生长的薄膜厚度原子量级可控和大面积的均匀性。本发明制备的氧含量可调控的SiON薄膜在传感器、光电探测、微电子器件等领域具有广泛的应用前景。
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本发明公开了一种通过无人机读船舶吃水的方法,用于设置有水尺的船舶倾斜试验、称重试验、液位遥测校对、试航或营运过程中,所述方法包括:操作无人机,使得无人机上的摄像装置朝向待读取吃水的水尺处,摄像装置拍摄读数视频,读数视频的时长包括n个水面波动周期;依据读数视频,读取n个水面波动周期中的水尺读数,获得n组吃水值。本发明的有益效果具有使用简单,操作便捷的突出优点,极大的提高了工作效率,增加了读数准确性,降低了使用拖轮的试验成本,广泛适用于各类大中型集装箱船、LNG船、LPG船、化学品船、滚装船、浮式储油轮、成品油轮、原油轮、散货轮、客船、特种工作船、军舰和军辅船。
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本发明提供了一种铪酸镧钇透明陶瓷及其制备方法,属于透明陶瓷领域。所述铪酸镧钇透明陶瓷的化学组成为LaxY2-xHf2O7;其中,0.4≤X≤1.6。本发明采用固相法制备粉体、干压成型和冷等静压成型、真空和氢气氛烧结以及退火热处理等工艺步骤,将上述铪酸镧钇材料制备成具有优良光学透过性能和高折射率的透明陶瓷。1mm厚经抛光的该透明陶瓷在可见光范围的直线透过率最高可达到75%以上,在信息探测、激光介质、高温视窗等领域具有潜在的应用前景。
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本发明公开了一种碱基修饰核苷酸的合成方法及其用途;所述方法包括将各种修饰核苷在磷酸化试剂的作用下,选择性地生成5′-核苷三磷酸;这些磷酸化试剂包括反应过程中原位生成的环状磷酸化试剂以及三氯氧磷和三丁基焦磷酸铵协同作用下的反应产物。本发明合成的碱基修饰核苷酸在DNA测序、标记、延伸等生物学领域广泛使用,目前其销售价格很高,合成方法复杂,反应选择性差,副反应多,不好分离纯化;而本发明提供的合成方法选择性好,副反应少,容易分离纯化,且所需实验条件易得,合成过程均为常规化学反应,可用于大规模推广使用。
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本发明涉及一种石墨烯基表面应变传感器的制备方法,包括以下步骤:(1)配制氧化石墨烯分散液;(2)将氧化石墨烯分散液喷射在基板上,形成氧化石墨烯薄膜;(3)对氧化石墨烯薄膜进行化学还原或紫外光照射,形成石墨烯薄膜;(4)在石墨烯薄膜的两端,用导电胶接入两根铜电极,在两电极间连接欧姆表;(5)在石墨烯薄膜上继续喷涂或刷涂高分子溶液,形成高分子乳胶膜。与现有技术相比,本发明通过喷涂制备氧化石墨烯基薄膜,再利用一定的手段进行还原,最终制备了石墨烯基表面应变传感器。该过程因操作简单,价格低廉,且适于大规模制备,有望应用于建筑结构的健康监测。
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本发明提供了一种光电极的制备方法,该方法将Sr2Ta2O7、TiO2、Sr2KNb5O15、K4Nb6O17、Sr2Ta2O7‑xNx等氧化物及其氮氧化物粉体材料分散在异丙醇、丙酮或二甲基甲酰胺等溶剂中,并加入少量Na+、K+或Mg2+等金属离子,以不锈钢片作为电泳正极,FTO导电玻璃作为电泳负极,电极片之间保持一定的距离并且垂直正对,通过调整沉积电压和沉积时间来控制沉积到FTO导电玻璃表面材料的厚度,即可得到光电极。本发明能够有效制备出光电极,制备过程简单易操作,适用性十分广泛,并且沉积到FTO导电玻璃表面的光催化材料分布均匀、厚度可控,为后续光电化学测试表征材料性能和探究机理提供了有力的保障。
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本发明公开了一种基于铌酸锂微腔可调光频梳及其制备方法,先利用飞秒激光直写结合化学机械抛光技术在铌酸锂薄膜材料上制备出铌酸锂微腔与集成电极,再通过集成电极对产生光频梳的铌酸锂微腔进行调控,进而实现基于铌酸锂微腔可调光频梳的微纳结构。本发明基于铌酸锂微腔的可调光频梳具有空间形状可任意设计、尺寸可调、高调控效率和高调控范围的特点,在光钟、光通讯、精密光谱探测和量子计算等高科技领域具有很大应用前景。
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本发明涉及钛片基底上镍掺杂二硫化铁纳米线阵列结构的合成方法,配制含铁盐、镍盐、硫酸钠及尿素的混合水溶液,投入干净钛片,经水热反应得到了原位生长于钛片基底表面的镍掺杂氢氧化氧铁纳米线阵列;将前驱体置于管式炉中进行高温气相硫化利用氩气进行气氛保护,得到了组装于钛片基底的镍掺杂二硫化铁纳米线阵列。本发明方法操作简便、重复性好,得到的产物结构稳定,能够均匀且坚固地分布在钛片表面,可以直接作为二维电极材料应用于电化学设备中,同时经电解水测试,发现镍的掺杂大幅度提升了二硫化铁的电催化产氢活性及稳定性,而且有望进一步促进其在储能、光催化等领域的性能提升,扩展其应用范围。
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本发明提供一种钙钛矿单晶及其制备方法和用途,所述钙钛矿单晶的化学式为A2SnI4,其中,A为选自正丁胺基、异丁胺基、2‑苯乙胺基、2‑氟苯乙胺基、3‑氟苯乙胺基和4‑氟苯乙胺基中的一种。本发明制备的低维锡基钙钛矿单晶可用于光电探测器件,并对偏振光表现出显著的区分。
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本发明提供一种功率器件的制造方法,提供一形成有IGBT元胞结构的晶圆,IGBT元胞结构包括在形成ILD层之前在晶圆表面形成的氮化硅层;在晶圆的正面形成金属电极;对晶圆的背面进行Taiko减薄;在晶圆的背面进行离子注入并退火形成集电区;利用化学镀工艺在金属电极上镀上目标金属;在晶圆背面形成背面金属层;进行芯片测试;去除晶圆背面的Taiko环。本发明通过在形成ILD层之前在晶圆表面形成氮化硅层,使得晶圆背面形成的Taiko环有氮化硅层保护,解决了IGBT化镀工艺导致背面金属脱落的问题,避免了造成晶圆碎片或机台沾污。
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本发明涉及利用FIB沉积纳米锥形底电极从而制备硫系化合物存储单元器件的方法,其 包括以下步骤:首先,在(100)取向的硅片上面,应用化学气相沉积的方法制备一层SixN介 质层;然后使用磁控溅射的方法沉积Al/Ti/TiN作为底层电极材料;于底层电极材料上利用 离子束法沉积氧化硅作为介质层;利用电子束曝光结合反应离子刻蚀的方法制备若干氧化硅 孔;于氧化硅孔内利用聚焦离子束系统制备所需要的锥形底电极;利用光刻剥离的方法于底 电极上沉积相变材料层;之后利用聚焦离子束引出上层测试电极;最后离子束沉积法溅射氧 化硅作为绝热保护层。本发明有助于制备新型的低功耗相变存储器,为研究20nm以下尺寸相 变存储器的性能提供有效的方法,促进相变存储器的发展。
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本发明涉及一种新型的辐射变色水凝胶三维剂量计及其制备方法。该水凝胶三维剂量计由 聚乙烯醇PVA酸性水溶液和剂量计凝胶小球按20∶(1~3)的质量比混合而成。本发明方法 采用冷冻-解冻这种物理交联的方法制备水凝胶剂量计,相比化学交联法,操作更加简便,且 无污染或毒副作用。该水凝胶三维剂量计经辐照后,其中的Fe2+被氧化成Fe3+,并与二甲酚橙 (XO)形成显色的XO-Fe3+络合物,因此会有明显的颜色梯度变化,可以直观测得辐照剂量的 分布情况。用液氮急速冷冻制备剂量计凝胶小球分散于PVA基材中,可以在一定程度上模拟 细胞的独立性,相对提高剂量响应灵敏度和辐照后稳定性。
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本发明涉及一种锆酸镧钆透明陶瓷材料及其制备方法,所述锆酸镧钆透明陶瓷材料的化学组成为La2-xGdxZr2O7,其中0<x<2,优选0.4≤x≤1.6。本发明提供的锆酸镧钆透明陶瓷材料的可见光透过率高,同时烧结致密度高,可满足在信息探测、激光介质、高温视窗以及高折射率相机镜头、闪烁体基质等领域的应用要求。
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本发明提供一种用于测定化学需氧量且自动升降样品杯高度的装置,包括样品杯、杯架、弹簧固定柱、高精度弹簧、上面板、下面板,其中所述杯架为能套设样品杯的圆环,边缘设有匹配弹簧固定柱的固定孔;上面板和下面板分别套设在样品杯的上端和下端,其中下面板设有匹配弹簧固定柱的固定孔,使得弹簧固定柱穿过弹簧,上下两端分别插入杯架、下面板的固定孔,从而将弹簧固定在样品杯的外侧。此外,样品杯的底部设有加热模块。本发明的效果在于,在放置样品杯及适量试剂的情况下,样品杯杯远离杯架底部而不会被加热。当冷凝管向下对接样品杯时,样品杯可自动进行加热,而当完成消解且冷凝管脱离样品杯时,弹簧自动驱动样品杯升起,并远离加热模块进行冷却。
本发明涉及一种非线性光学晶体材料及其制备方法与应用,该类晶体材料的化学式为NaM(SO4)2(H2O)(M=Ce3+,Bi3+),属于三方晶系,其空间群分别为P3121和P3221。在1064nm激光照射下,粉末倍频强度分别为KH2PO4(KDP)晶体的0.2倍和0.38倍,且在该波长激光照射下都能实现相位匹配。与现有技术相比,本发明涉及的晶体材料NaBi(SO4)2(H2O)具有较大的带隙,测得的激光损伤阈值为已商业化的红外二阶非线性材料AgGaS2(AGS)的83倍,表明该材料在紫外非线性光学、电光调制、光折变信息处理等领域具有较大的应用潜力。
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本发明公开了一种金属前介电层应力恢复的方法,金属前介电层具有接触孔,接触孔刚经过清洗,包括:使用紫外线灯照射金属前介电层,测量生成金属前介电层后的第一晶圆弯曲度和进行紫外线照射时的第二晶圆弯曲度,将第一晶圆弯曲度和第二晶圆弯曲度进行比较,如果弯曲度差小于10微米,则停止紫外线灯照射,否则,继续紫外线灯照射。根据本发明的方法可有效解决导体器件制造过程中金属前介电层吸收水分引起的应力损失的问题。可以有效地去除金属前介电层在化学机械抛光和清洗等工艺环节中吸收的水分,进而恢复金属前介电层的应力,提高所制造的半导体器件的性能。并且本发明的方法实施成本低,工艺简单、处理时间短,有经济、高效和实用的优点。
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本发明提供一种改善层间介质层研磨后返工工艺的方法,用于对层间介质层研磨后的半导体衬底进行返工,所述层间介质层被过量研磨,所述层间介质层具有目标厚度,包括:测量所述层间介质层的实际厚度;根据所述层间介质层的实际厚度与所述层间介质层的目标厚度的差异,获得补偿膜层的厚度,所述补偿膜层用于覆盖所述层间介质层的表面;获得覆盖膜层的目标厚度,所述覆盖膜用于覆盖所述补偿膜层的表面;根据所述补偿膜层与所述覆盖膜层的厚度之和,进行一次沉积工艺,形成所述补偿膜层和覆盖膜层。本发明减少了等离子体增强化学气相沉积工艺给下方的层间介质层带来的损伤,减少了研磨误差带来的器件性能漂移。
本发明涉及含有1,3-二硫-2-叶立德烯共轭单元的萘二酰亚胺衍生物、制备方法和应用,化学结构如下所示:其中,π-1或π-2=和R1或R2=C1~30的烷基,或R3=H或C1~4的烷基;当π-1=π-2=时,R1和R2不能同时为烷基;当R1=R2时,二者均为烷基。们用于制备有机薄膜晶体管器件,均为n-型有机半导体材料,空气中测试,电子迁移率可达0.2cm2V-1s-1。
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本发明属于药物化学领域,涉及一类能抑制糖原合成酶激酶-3β(GSK-3β)的式I所示结构的2,3-二氢苯并氮杂类化合物,该类化合物是GSK-3β的小分子抑制剂,以非ATP竞争作用模式抑制GSK-3β活性,且对测试的多种蛋白激酶均无明显抑制作用,具有高的激酶选择性,可用于制备预防或治疗与GSK-3β异常所致疾病的药物。本发明进一步包括这类化合物其药学上可接受的盐、或其药物组合物在预防或治疗与GSK-3β相关疾病中的应用。所述与GSK-3β相关的疾病是糖尿病、阿尔茨海默氏病、胃癌、结肠癌、胰腺癌、肝癌或混合性白血病,但并不受限于此。
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本发明涉及石油、化工、冶金、轻工、制药等工业部门中各种石油制品、化学液体贮罐的调节阀,特别是一种信号放大先导式及自力式调节阀。它主要由阀体、阀座、导向套、阀芯部件、阀盖和执行器组成,所说执行器是由信号探测器、信号放大器、信号对比单元和执行器推杆组成,该控制和执行过程中进行信号的二次放大。它主要解决现有产品都需要二次能源,控制环节多节化,要达到控制目的能量要经过多次转换,结构复杂,控制精度低,使用寿命短,调试难度高等技术问题,而且能减小产品的体积和生产成本。
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一种超快时间分辨X射线衍射仪,其特征在于它的构成为:包括飞秒激光系统,在飞秒激光系统的激光输出光路上设一半反射半透过介质膜板,在该半反射半透过介质膜板的透射光路依次为经由三块全反射介质膜板构成的光学延迟线、多块反射镜和样品,在该半透半反射过介质膜板的反射光路上依次为全反射介质膜板、凹面反射镜、靶、沃尔特(Woltermirror)镜和样品,所述的凹面反射镜和靶同处于一靶室内,在样品的衍射方向设有X射线探测器。本发明可用于研究原子尺度的物体的瞬态过程,时间分辨率可以达到亚皮秒量级,晶格移动间分辨率可以达到m量级,特别适合于晶体材料和生物化学过程的研究。
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本发明公开了一种空间运动伺服控制系统的高精度强鲁棒控制方法,以500Nms控制力矩陀螺CMG(Control Moment Gyro)的直接驱动架构系统为控制对象,实现了空间运动伺服机构在多源负载扰动、挠性高动态等复杂工况下的先进控制方法。通过神经网络的自学习识别出空间运动伺服机构的多模态干扰对控制系统设定值、可测状态变量以及输出量的关系。在建立不包含刚度变化、负载变化、工作模式的广义被控对象神经网络模型后,分离出多模态扰动给系统所带来的影响。再通过神经网络强化学习,得到自学习神经网络补偿器模型,并作为“外挂式”控制器,用其输出作为控制增量与原控制器输出电流叠加,抵消由于多源干扰与结构模态变化引起的系统控制品质变坏,提高原控制系统的精度与鲁棒性。
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本说明书揭示了一种高通量并行反应方法及其系统,其中该系统包括有用于输入反应原料的输入模块、用于进行预定反应的反应模块、用于采集反应数据的数据采集模块以及用于处理所采集的数据的数据处理模块。使用本发明涉及的高通量并行反应方法及其系统,可同时并行进行多个化学反应,并获得相应的反应数据。并将这些反应数据,应用于其相应反应的反应动力学方程的测算,可快速建立某一特定催化反应的动力学方程,大大地节省投入的时间及资源。
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本发明属于污水处理领域,涉及一种城市污水回用产生的反渗透浓缩水的处理的芬顿反应系统,在芬顿反应系统进水口设置在线COD(化学需氧量)监测仪,当经过脱氮处理后的RO浓水COD≤60mg/L时,药剂投加设置为氯化铁投加;当经过脱氮处理后的RO浓水COD>60mg/L,药剂投加设置为氯化铁、过氧化氢投加,并且进行pH调节,调整pH为3-5。本发明解决了城市污水回用过程中产生的反渗透浓缩水处理过程中药剂投加成本过高的问题,操作简单方便,易于实施,处理出水可以达到《城镇污水处理厂污染物排放标准》一级B标准,减少了排放到环境中的污染物浓度。
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本发明属于钢铁表面合金化技术领域,特别是一种在低碳钢表面制备铜锌合金层的方法。本发明是通过球磨得到的纳米级锌粉涂覆到化学镀铜后低碳钢表面,利用氢气氛下高温环境在低碳钢表面实现铜锌合金化,从而达到通过复合简单工艺提高低碳钢表面耐腐蚀性能的目的。经过测试,处理后的试样耐蚀方面均有大幅度提高。
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本发明涉及一种金属离子掺杂的钠离子电池负极材料的制备方法,在负极集流体表面涂覆负极浆料后,烘干制得金属离子掺杂的钠离子电池负极材料;负极浆料是将金属离子掺杂的硫化钼纳米棒、负极导电剂和负极粘结剂混合后搅拌得到;金属离子掺杂的硫化钼纳米棒是将氧化钼纳米棒加入含有硫源与金属离子源的有机溶液中,通过水热法制备得到;金属离子为Mg2+、Co2+或Ni2+。本发明通过自模板法制备得到了无碳材料参与的金属离子掺杂的硫化钼纳米棒结构,并将其用于制备钠离子电池负极材料,制备方法简单易行,所制得的负极材料在电化学测试中表现出优异的性能,表明其在钠离子电池负极材料领域具有广阔的应用前景。
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本发明公开一种氧化石墨烯3D打印墨水及制备方法,其制备所用的原料由氧化石墨烯、交联剂和溶剂组成,各原料用量,按氧化石墨烯:交联剂中的金属阳离子:溶剂为60mg:0.03‑1mmol:40ml的比例计算。制备方法即首先用溶剂分别将氧化石墨烯、交联剂超声分散配制成溶液,然后将所得的氧化石墨烯溶液和交联剂溶液混合进行化学交联反应,所得反应液离心、去除上清液,即得氧化石墨烯3D打印墨水,当圆频率为0.9rad/s时,测得其运动粘度可达2800‑20800 Pa*s。使用后所得的氧化石墨烯三维气凝胶支架,在形变量为60%时,抗压模量为0.42 MPa‑0.98 MPa。
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本发明公开了一种低气味PC/ABS合金材料及其制备方法。所述低气味PC/ABS合金材料,包括下述重量份的组分:ABS树脂50份,PC树脂40-60份,聚四氟乙烯0.5-1.5份,化学除味剂1-2份。按配比称取各原料,混合均匀后,熔融混炼、挤出造粒。本发明的低气味PC/ABS合金材料,具有较低的气味,符合汽车内饰件测试气味PV3900标准,特别适合于注塑成各种汽车内饰件。
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本发明公开了一种阴阳离子共掺杂高光输出低余辉闪烁体材料,所述阴阳离子共掺杂高光输出低余辉闪烁体材料采用如下化学式:Lu2‑yYy‑z‑xCexMzSiO5‑n/2Rn,式中:M代表二价碱土金属子,R表卤族离子,x大于或等于0.0001,小于或等于0.1;z大于或等于0.0001,小于或等于0.1;n大于或等于0,小于或等于0.01。这种材料具有高光输出、快衰减、低余辉、结晶性能好等特性,可用于医疗PET成像、石油测井及其它工业领域。
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本发明涉及一种高强度耐腐蚀无磁不锈钢及其制备方法。该无磁不锈钢的化学元素按质量百分比为:C≤0.07%,Si≤0.50%,Mn11.00%~18.00%,P≤0.02%,S≤0.02%,Cr18.00%~25.00%,Ni4.00%~6.00%,Mo2.00%~4.50%,N≥0.40%,余量为Fe。本发明钢采用真空中频感应熔炼,并采用N2调节炉内气压的方法,再经过热加工和热处理工序制得,不经温变形或冷变形强化。与现有技术相比,本发明材料在力学性能、耐腐蚀性能和无磁性方面拥有较好的综合性能。三方面实测平均数据为抗拉强度Rm:945MPa,点蚀电位E’b100:1106mV;相对磁导率μ:1.0025。本发明钢在具有高抗拉强度的同时,兼具有很高的耐点腐蚀性能,同时相对磁导率非常低,更能够胜任海洋工程、特种船舶、国防军工领域等复杂苛刻的使用环境。
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