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本发明公开了一种基于光电检测技术的GIS设备故障诊断精准定位方法，包括以下步骤：S1：气体检测：对GIS设备的六氟化硫气体的压力进行检测，并对检测数据进行记录，S2：感官检测：对GIS设备运转时的声音、生锈情况、发热情况、部件有无损伤进行检测，并对检测数据进行记录，S3：数据分析：对S1和S2中所述的数据进行综合分析，当数据正常时，需要对GIS设备的内部进行检测，S4：超声波检测法：当进行S3中所述的内部检测时，由于GIS设备内部产生局部放电信号时。本发明通过超高频传感器对超高频电磁波信号进行检测，通过超声波传感器来测量GIS设备局部放电信号，能够准确的对放电源进行定位，便于及时排出故障，节约时间。
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