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KLA Candela光学表面缺陷分析仪(OSA)可对半导体及光电子材料进行先进的表面检测。Candela系列既能够检测Si、砷化镓、磷化铟等不透明基板,又能对SiC、GaN、蓝宝石和玻璃等透明材料进行检测,成为其制程中品质管理及良率改善的有力工具。 Candela系列采用光学表面分析(OSA)专用技术,可同时测量散射强度、形状变化、表面反射率和相位转移,为特征缺陷(DOI)进行自动侦测与分类。OSA检测技术结合散射测量、椭圆偏光、反射测量与光学形状分析等基本原理,以非破环性方式对Wafer表面的残留异物,表面与表面下缺陷,形状变化和薄膜厚度
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Filmetrics的薄膜电阻测量设备开发源自于有着超过30年经验的KLA的薄膜电阻计量技术,并由20年台式测量设备开发经验的Filmetrics团队完善了桌面式方块电阻测量产品。KLA薄膜电阻测量技术包括接触(4PP)和非接触(EC)方法。 Filmetrics的R50系列方块电阻测量仪器可测量沉积在多种基材上的导电片和薄膜,跨越10个数量级范围电阻率,包括:半导体晶圆基板、玻璃基板、塑料(柔性)基材、PCB图案特征、太阳能电池、平板显示层和图案化特征、金属箔
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ezAFM是新设计的精致型原子力显微镜,具有设计紧凑、美观大方、高稳定性、占用空间小等特点,而且软件功能强大、操作简单、用户界面良好,而且价格实惠,性价比较为高。它是理想的实验室用原子力显微镜,广泛应用于高等教育、纳米技术教育和基础研究等领域。产品系列包括:ezAFM、ezAFM+、ezAFM AQUA、以及ezAFM-Vacuum,ezSTM除了基本的形貌等扫描,可以用于电学、磁学等拓展模式,以及液相、真空环境等。
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在具备常规原子力显微镜功能的条件下,基于光诱导力显微镜(Photo-induced Force Microscope, PiFM)技术,结合波长可调的可见-红外光源,从而实现10nm以下空间分辨可见-红外成像与光谱采集,无需远场光学接收器及光谱仪。VistaScope原子力显微镜还可以与各类拉曼光谱仪进行联用,组成原子力显微镜与可见-红外-拉曼联用系统,以满足科研人员在纳米尺度下的测试需求。
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KLA是全球半导体在线检测设备市场较大的供应商,在半导体、数据存储、 MEMS 、太阳能、光电子以及其他领域中有着不俗的市占率。 P-7是KLA公司的第八代探针式台阶仪系统,历经技术积累和不断迭代更新,集合众多技术优势。 P-7建立在市场领先的P-17台式探针轮廓分析系统的成功基础之上。 它保持了P-17技术的测量性能,并作为台式探针轮廓仪平台提供了好的性价比。 P-7可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量,其扫描可达150mm而无需图像拼接。从可靠性表现来看, P-7具有较好的测量重复性。UltraLite®传感器具有动态力控制,
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膜生物反应器(Membrane Bio-Reactor, MBR)为膜微孔分离技术与生物处理技术有机结合的一种新型态废水处理系统。以膜过滤系统取代传统生物处理技术末端二沉池,利用膜的截留分离性能,提高生化系统的活性污泥浓度,延长生物反应时间,提高生物处理有机负荷,从而减少污水处理设施占地面积,并能有效减少剩余污泥量。 埃姆媞膜基于多年的创新开发与投入, 规模化生产了埃姆媞MBR产品(MBR-DBM series)。在不断的发展过程中, 埃姆媞MBR产品已有大量的安装及实际运行的案例, 广泛应用于污水处理厂的提标改造、高浓度废水的处理、垃圾渗滤液的
2026年01月23日 ~ 24日
2026年01月23日 ~ 25日
2026年01月23日 ~ 25日
2026年01月21日 ~ 23日
2026年01月21日 ~ 23日