有色金属化学分析技术理论与应用

水溶性均三嗪衍生物及其制备方法与应用 825     

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本发明公开了一种水溶性均三嗪衍生物及其制备方法与应用。本发明所提供的水溶性均三嗪衍生物,结构如式I,其中,X为具有紫外吸收、荧光生色或化学发光活性的生色基团,Y带有水溶性基团,Z带有反应活性基团。本发明涉及的水溶性均三嗪衍生物由于不同活性基团的引入,可以用于多种化合物的标记和分析。同时,由于大量水中离解基团的引入,适用于以水为介质的标记和分析,尤其是用于蛋白质、糖、糖缀合物等生命相关物质的标记和分析。

配合物[[Cu2(L7)(L10)]的原位合成及作为抗癌药物的应用 1035     

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发明公开了一种配合物[[Cu2(L7)(L10)]的原位合成及作为抗癌药物的应用。配合物[Cu2(L7)(L10)]的分子式为：C67H52Cu2N18O20Cl6，分子量为：1769.07。（1）将0.05-0.15克分析纯5-乙酸-1-（6-氯吡啶）-1-氢-吡唑-3-甲酸甲酯，0.05-0.15克分析纯三水硝酸铜溶于10-20毫升体积比为1：1的无水乙腈和分析纯正丁醇的混合溶液中；（2）将步骤(1)所制得的溶液转入聚四氟乙烯的反应釜中，在80-90°C下反应60-80小时，降温至室温，过滤，滤液置于室温下自然挥发结晶，10天后得到单晶级配合物[Cu2(L7)(L10)]。[Cu2(L7)(L10)]能作为抗癌药物应用。本发明具有工艺简单、成本低廉、化学组分易于控制、重复性好并产量高等优点。

三种法定基源黄精的鉴别方法 1158     

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本发明涉及三种法定基源黄精的鉴别方法。利用超声法提取收集到的药材，提取液经PS/AL固相萃取小柱净化后，采用超高效液相色谱串联静电场轨道阱高分辨质谱(UPLC‑Orbitrap MS)技术分别对其化学成分进行表征，并用多元统计分析处理数据，包括主成分分析(PCA)、偏最小二乘法判别分析(PLS‑DA)、正交校正的偏最小二乘分析(OPLS‑DA)及聚类分析(HCA)。我们发现三种基源黄精药材的化学成分存在明显差异，所建分析方法可用于区分三种法定基源黄精，研究结果将为黄精药材的深入研究及质量标准的科学制定提供依据。

半导体器件 1078     

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通过具有用于将电磁波转换成电信号的天线、用于检测化学反应的检测部分、和用于控制天线和检测部分的控制部分,提供了便利性增强的半导体器件。检测部分包括至少检测元件,控制部分包括至少晶体管。检测元件包括用于固化核酸、蛋白质、酶、抗原、抗体和微生物中至少任一的反应层。或者,半导体器件包括天线、检测部分、控制部分和存储部分。存储部分包括至少存储元件,存储元件包括第一导电层、第二导电层、和位于第一导电层和第二导电层之间的层。

自动点火系统 799     

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本实用新型涉及一种自动点火系统，该系统包括固氧模组、检测模块、判断模块、加热模块及点火模块，所述固氧模组内有电阻丝，并装有化学药粉，所述化学药粉反应时可产生氧气，所述检测模块用于检测环境氧气浓度；所述判断模块用于判断环境氧气浓度是否低于预先设定值；所述加热模块用于当检测到的环境氧气浓度低于预先设定值时，对所述固氧模组进行加热；所述点火模块用于在固氧模组中的药粉产生化学反应时，完成点火操作。本实用新型能够实时检测环境氧气浓度，在环境氧气浓度较低时实现自动点火，节约成本，方便快捷，易于实现。

带有除臭装置的一体化预制泵站 1193     

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本实用新型公开了一种带有除臭装置的一体化预制泵站，包括泵站本体，所述泵站本体内部设有腔室，腔室内设有排水潜污泵、粉碎型格栅以及控制柜系统，所述泵站本体设有污水进水管和出水管，控制柜系统控制所述排水潜污泵的工作状态，所述泵站本体内设有除臭系统和气体检测装置，所述除臭系统包括物理除臭装置和化学除臭装置；所述气体检测装置检测气体的浓度，当气体的浓度超过气体检测装置设置的浓度阈值时，所述控制柜系统接收到所述气体检测装置的反馈信号，所述控制柜系统控制所述化学除臭装置和所述物理除臭装置工作。能有效的减少筒体内部污水因为长时间的化学反应产生的有害气体堆积，改善工作环境的空气质量，从而减少臭气对环境的污染。

包括荧光染料和MRI造影剂的双功能造影剂 786     

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本发明涉及用于提供活生物体内生物化学活性的高分辨率、体内成像的双功能检测剂。使用这些双功能检测剂的方法可以包括:将其给药于活生物体,然后使用一种模式(即MRI)估计检测剂的定位,同时使用第二模式(即光学成像)估计生物化学活性的水平。一种双功能检测剂包括磁共振成分和光学成像成分。该磁共振成分包括总是活化或“打开”的造影剂。该光学成像成分包括可活化的造影剂或染料,该可活化的造影剂或染料仅仅在特定事件存在时被活化或“打开”。例如,该光学成像成分可以被以下事件活化:存在预定波长的光,和(1)存在特定的生物化学标记,(2)酶裂解,或(3)周围介质的温度或pH改变。这些双功能检测剂使得能够同时获得解剖学和功能/代谢信息。

构造生物传感器的方法 1153     

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构造分析物传感器(10)的方法。该方法开始于提供电化学活性表面(24)的步骤。然后,构造由介电材料制成并从电化学活性表面(24)横向向外伸出的至少一个凸起(22)。向电化学活性表面和凸起(22)涂敷可固化的液体,随后使其固化。在此过程中,可能是几个凸起(22)之一的凸起(22)用于在固化之前和固化期间托住所述液体。

可见光响应的复合氧化物光催化剂Li9Ti5Nb5-xTaxO27及制备方法 1170     

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本发明公开了一种可见光响应的复合氧化物光催化剂Li9Ti5Nb5-xTaxO27及制备方法。1)将99.9%分析纯的化学原料Li2CO3、TiO2、Nb2O5和Ta2O5,按Li9Ti5Nb5-xTaxO27化学式称量配料;2)将配好的原料混合,放入球磨罐中,加入氧化锆球和无水乙醇,球磨12h,混合磨细,取出烘干,过200目筛;3)将步骤(2)所得粉料在900～1050℃预烧,并保温8-10h,自然冷却至室温,然后粉碎使粒子直径变小,达到2μm左右,即可得到复合氧化物光催化剂Li9Ti5Nb5-xTaxO27粉末。本发明制备方法简单、成本低,制备的光催化剂具有优良的催化性能,在可见光照射下具有分解有害化学物质、有机生物质和杀菌的作用。

可见光响应的复合氧化物光催化剂Li7Ti5Nb3-xTaxO21及制备方法 1120     

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本发明公开了一种可见光响应的复合氧化物光催化剂Li7Ti5Nb3-xTaxO21及制备方法。1)将99.9%分析纯的化学原料Li2CO3、TiO2、Nb2O5和Ta2O5,按Li7Ti5Nb3-xTaxO21化学式称量配料;2)将配好的原料混合,放入球磨罐中,加入氧化锆球和无水乙醇,球磨12h,混合磨细,取出烘干,过200目筛;3)将步骤(2)所得粉料在800～1050℃预烧,并保温8-10h,自然冷却至室温,然后粉碎使粒子直径变小,达到2μm左右,即可得到复合氧化物光催化剂Li7Ti5Nb3-xTaxO21粉末。本发明制备方法简单、成本低,制备的光催化剂具有优良的催化性能,在可见光照射下具有分解有害化学物质、有机生物质和杀菌的作用。

溶解气-药剂真空预压法 841     

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本发明提供一种溶解气-药剂真空预压法，其包括以下步骤：步骤一，现场采取工程废浆样品；步骤二，根据步骤一的分析结果确定化学药剂及溶解气等；步骤三，设计废浆沉淀池等；步骤四，将废浆经泵送管打入沉淀池中到一定高度；步骤五，将化学药剂等依次经泵送管打入沉淀池中；步骤六，将溶解气体通过加气装置及注气管送入废浆；步骤七，将加入化学药剂后的废浆混合物静置；步骤八，将横向排水管与竖向排水管布置在分离池中；步骤九，将沉淀物用泵抽送至已布置好真空网络排水系统的固液分离池；步骤十，完成布置后进行真空加载；步骤十一，停止真空加载；步骤十二，结束后拆除真空网络排水系统。本发明达到较为彻底的固液分离的目的。

灯盏花乙素结晶I及其制备方法 1123     

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本发明涉及药物化学领域,公开了一种灯盏花乙素结晶I,其X-射线粉末衍射分析、DSC和TG-DTA分析、IR及HPLC分析表明,是一种新的结晶形态。所述灯盏花乙素结晶I纯度高,对光、湿、热稳定,在碱性溶液中稳定性好,急性毒性试验表明其安全性高。本发明还提供该结晶的制备方法,所述方法操作简单,采用的结晶溶剂较现有结晶方法使用的结晶溶剂量少,生产成本低,易于工业化生产,所制备的灯盏花乙素结晶I中灯盏花乙素含量高达98%以上。

低电压驱动阵列电极式毛细管电泳芯片 918     

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本发明属于分析化学中的微全分析系统研究技术领域,用以在芯片毛细管电泳分离过程中实现低电压驱动样品进样。其特征是利用毛细管电泳中电渗流驱动的原理,在玻璃盖片上刻蚀毛细管电泳微沟道,并以热键合的方法封接基片和盖片,制作出阵列电极式毛细管电泳芯片。在“十”字形毛细管电泳芯片的进样沟道和分离沟道上分别设置了一系列电极,即在缓冲液池至十字沟道之间,以及样品废液池至十字沟道之间,都分别设置了阵列电极,通过设计不同的电压组合,在电极上循环施加电压实现样品的进样和分离。本发明的效果和益处是较大幅度降低毛细管电泳的进样和分离电压,使微全分析系统实现真正的集成化和微型化。

在镀金薄膜上的接触印刷方法 941     

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本发明包括在金属化热塑性薄膜上接触印刷烷烃硫醇、羧酸、异羟肟酸和磷酸的图案化的自集成单分子层的方法,由此生产的复合体,和这些复合体的用途。图案化的自集成单分子层便于控制液体布置,该液体可以含有化学活性的官能度指示剂。当薄膜暴露在分析物和光下,由此产生的光学传感装置可以产生光学衍射图,其根据自集成单分子层与研究中的分析物的反应而不同。光可以是可见光,和或者从薄膜上反射的光,或者是透射光,分析物可以是与自集成单分子层反应的任何化合物。本发明也提供一种在金或其它金属上的自集成单分子层的柔性基体。

可见光响应的复合氧化物光催化剂Li8Ti5Nb4-xTaxO24及制备方法 755     

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本发明公开了一种可见光响应的复合氧化物光催化剂Li8Ti5Nb4-xTaxO24及制备方法。1)将99.9%分析纯的化学原料Li2CO3、TiO2、Nb2O5和Ta2O5,按Li8Ti5Nb4-xTaxO24化学式称量配料;2)将配好的原料混合,放入球磨罐中,加入氧化锆球和无水乙醇,球磨12h,混合磨细,取出烘干,过200目筛;3)将步骤(2)所得粉料在900-1050℃预烧,并保温8-10h,自然冷却至室温,然后粉碎使粒子直径变小,达到2μm左右,即可得到复合氧化物光催化剂Li8Ti5Nb4-xTaxO24粉末。本发明制备方法简单、成本低,制备的光催化剂具有优良的催化性能,在可见光照射下具有分解有害化学物质、有机生物质和杀菌的作用。

四氟化硫生产工艺的自动化控制 803     

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本发明涉及一种四氟化硫生的自动化控制工艺,包括四氟化硫合成反应的自动化控制,其中还有四氟化硫冷却、分离、捕集的自动化控制,对制备五氟化碘的自动化控制、氟气制备及纯化的自动化控制、精馏提纯的自动化控制以及回收处理的自动化控制。本发明采用了系统工序控制分析和产品质普分析和化学分析手段,确保四氟化硫产品质量的稳定性,使生产得以连续稳定运行;合成四氟化硫工艺生产全程采用DCS自动化装置控制,减少人为随意性、经验性,提高产品质量的稳定性以及产品纯度、收率和生产效率,减少了原料浪费,降低了生产成本。

全数字能量可调的火花光源 956     

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一种全数字能量可调的火花光源,属光谱分析技术领域。该火花光源包括激发控制系统、火花能量可调的电源电路、高压引燃电路、氩气控制电路以及控制系统和USB接口控制电路。计算机通过控制软件,经USB接口传输到接口电路,接口电路与激发控制电路相连,由激发控制系统发出控制脉冲,控制火花电源电路的电压高低,从而控制火花放电的能量大小,激发时先由高压引燃电路将分析间隙电离,再通过火花电源电路进行火花放电;激发时激发控制系统同时控制氩气的通断;激发时采集的信号由USB接口传输到计算机。优点在于,激发放电频率、火花放电能量可在软件上进行连续设定,有利于分析性质不同材料的化学成分,采用了光导纤维来传送激发控制信号,抗干扰能力很强。

具抗癌活性的Cu(mtyp)2的合成及应用 1154     

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本发明公开了一种具抗癌活性的Cu(mtyp)2的合成与应用。Cu(mtyp)2分子式为：C20H22CuN8O6，分子量为：534.00，Hmtyp为3-甲氧基水杨醛缩3-氨基-1, 2, 4-三氮唑希夫碱。(1)将分析纯3-甲氧基水杨醛与无水乙醇混合，加入分析纯的3-氨基-1, 2, 4-三氮唑，再加入无水乙醇，水浴加热，回流搅拌，过滤，用无水乙醇洗涤3次，干燥后得到Hmtyp；(2)将步骤(1)得到的Hmtyp以及分析纯乙酸铜溶于分析纯N, N’-二甲基甲酰胺溶液中，混合搅拌，移入微反应瓶中，最后向其中加入分析纯乙腈，静置3天。配合物Cu(mtyp)2能作为制备抗肝癌、肺癌和胃癌药物应用。本发明具有工艺简单、成本低廉、化学组分易于控制、重复性好并产量高等优点。

荧光材料Zn(hfoac)2(phen)H2O及合成方法 852     

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本发明公开了一种荧光材料Zn(hfoac)2(phen)H2O及合成方法。荧光材料Zn(hfoac)2(phen)H2O的分子式为：C26H18F2N2O7Zn，分子量为：573.81，H2foac为4-氟水杨酸，phen为邻菲罗啉。将0.108g-0.43g分析纯的4-氟水杨酸、0.099-0.396g分析纯的邻菲罗啉和0.11-0.438g分析纯的二水合乙酸锌混合，溶于10-40mL分析纯甲醇溶液中，搅拌10分钟后加入分析纯三乙胺调节pH为7.5，继续搅拌20分钟后，将得到的溶液放于120℃的烘箱中静置120小时后，冷却得到无色的块状晶体即Zn(hfoac)2(phen)H2O; Zn(hfoac)2(phen)H2O在280nm的入射光照射下产生182a.u.强度的377nm的荧光。本发明工艺简单、成本低廉、化学组分易于控制、重复性好且产量高。

海水中浮游植物的现场计数方法 1106     

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本发明涉及一种海水中浮游植物的现场计数方法，属于海洋调查方法领域，采取目标水样，过200μm的筛绢，制成海水样品P1；与等体积十二烷基硫酸钠溶液在离心管中震荡混匀，制成混合样品H2，混合样品H2同时、分别注入化学和生物过程在线监测系统上的8个长颈玻璃漏斗，溶液在重力作用下通过漏斗流入下方的容器；采用化学和生物过程在线监测系统自动采集/记录流动混合样品H2的电容耦合非接触电导σ数据；当所有混合样品H2完全流出长颈漏斗后，化学和生物过程在线监测系统自动统计每个检测通道出现的倒峰型信号数量n₁,n₂….n₈，本发明述方法能够在现场对海水样品中浮游植物数量进行测量，简单快捷。

荧光材料Zn2(hfoac)4(phen)2及合成方法 770     

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本发明公开了一种荧光材料Zn2(hfoac)4(phen)2及合成方法。荧光材料Zn2(hfoac)4(phen)2的分子式为：C48H32F4N4O12Zn2，分子量为：1063.56，H2foac为4-氟水杨酸，phen为邻菲罗啉。将0.108g-0.43g分析纯的4-氟水杨酸、0.099-0.396g分析纯的邻菲罗啉和0.068-0.272g分析纯的氯化锌混合，溶于10-40ml分析纯甲醇溶液中，搅拌10分钟后加入分析纯三乙胺调节pH为7.5，继续搅拌20分钟后，将得到的溶液放于120℃的烘箱中静置120小时后，冷却得到无色的块状晶体即Zn2(hfoac)4(phen)2。Zn2(hfoac)4(phen)2在280nm的入射光照射下产生192a.u.强度的377nm的荧光。本发明工艺简单、成本低廉、化学组分易于控制、重复性好且产量高。

石油废水电镀处理装置 823     

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本实用新型公开了一种石油废水电镀处理装置，包括物理净水池，所述物理净水池后端通过管道固定连接有化学净水池，所述化学净水池后端通过管道固定连接有水质检测池，所述水质检测池上端开口处设有回水装置。工作时，石油废水通过物理净水池、化学净水池的两级净化，流入水质检测池，此时水质检测器对水进行检测，若检测合格，电磁阀打开，水管流通，若检测不合格，水质检测器将信号反馈给电磁阀，电磁阀关闭，此时水泵开始工作，将水质检测池中不合格的水抽回到物理净水池。该实用新型设计合理、净水效率高、操作简单、运行平稳、可以节约更多的成本值得推广。

重建MR图像的方法、磁共振设备和数据载体 813     

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本发明涉及一种用于重建检查对象(O)之中的体积部段的MR图像(43)的方法和磁共振设备(5)以及一种数据载体。在此该方法包括如下步骤：通过在一个步骤中分别检测K空间行的MR数据，同时分别沿着同样的读取方向接通读取梯度，根据分离方法检测体积部段之中的MR数据，以便利用该分离方法重建第一材料的图像(41)和第二材料的图像(42)。确定移动长度(V)，第一材料的图像和第二材料的图像基于化学移动沿着读取方向相对于彼此移动了该移动长度。取决于移动长度地移动第一材料的图像和/或第二材料的图像，以便补偿第一材料的图像基于化学移动相对第二材料的图像沿着读取方向的移动。合并第一材料的图像和第二材料的图像，以便生成MR图像。

发光材料[Cd(tibc)2]n及合成方法 1023     

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本发明公开了一种荧光材料[Cd(tibc)2]n及合成方法。分子式为：C18H10CdBr4N8O2，分子量为：798.38g/mol, Htibc为3, 5?二溴水杨醛缩4?氨基?1, 2, 4三氮唑希夫碱。将分析纯的3, 5?二溴水杨醛和分析纯的4?氨基?1, 2, 4?三氮唑，溶于分析纯乙醇溶液中，加热回流并搅拌，过滤，洗涤三次，干燥，得到配体Htibc。将干燥后的Htibc和分析纯乙酸镉溶于分析纯N, N’?二甲基甲酰胺中，加入蒸馏水，在80℃烘箱中静置三天。[Cd(tibc)2]n在450nm的入射光照射下产生1516a.u.强度的514nm的荧光，在800V的光电倍增管，3倍的放大系数下，在过硫酸钾溶液中，产生了2510a.u.强度的且稳定的发光。本发明工艺简单、成本低廉、化学组分易于控制、重复性好且产量高。

发光材料[Mn(tibc)2]n及合成方法 925     

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本发明公开了一种荧光材料[Mn(tibc)2]n及合成方法。单体分子式为：C18H10MnBr4N8O2，分子量为：744.88g/mol, Htibc为3, 5-二溴水杨醛缩4-氨基-1, 2, 4三氮唑希夫碱。将分析纯的3, 5-二溴水杨醛和分析纯的4-氨基-1, 2, 4-三氮唑，溶于分析纯乙醇溶液中，加热回流并搅拌得到配体Htibc。将干燥后的Htibc和分析纯乙酸镉溶于分析纯N, N’-二甲基甲酰胺中，再加入蒸馏水，在80℃烘箱中静置三天。[Mn(tibc)2]n在450nm的入射光照射下产生1980a.u.强度的479nm的荧光；在800V的光电倍增管，3倍的放大系数下，置于1mol/L过硫酸钾溶液中，产生3010a.u.强度的发光，且在此条件下，能持续而稳定发光。本发明工艺简单、成本低廉、化学组分易于控制、重复性好且产量高。

SF₆气体绝缘开关设备内部绝缘故障诊断装置及方法 1250     

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本发明提供一种SF₆气体绝缘开关设备内部绝缘故障诊断装置及方法。气体检测管对SF₆气体绝缘开关设备运行过程中分解产生的SO₂和HF进行检测并校正电化学传感器中SO₂、HF气体组分检测结果；电化学传感器检测出SF₆气体绝缘开关设备运行过程中分解产生的SO₂、H₂S、CO和HF气体组分含量；气相色谱仪对SF₆气体绝缘开关设备运行过程中分解产生的CF₄、SF₆、SO₂F₂、SOF₂、H₂O、S₂F₁₀以及S₂OF₁₀的浓度进行标定；气相质谱仪修正气相色谱仪标定的浓度；计算机根据气相质谱仪修正的浓度进行SF₆气体绝缘开关设备内部绝缘故障诊断；由于故障设备运行中不同故障类型产生的SF₆分解产物不同，因此使用由气体检测管、电化学传感器、气相色谱仪和气相质谱仪组成的检测装置进行定性及定量检测。

法布里珀罗谐振腔光学微泡传感器及其制备方法 1158     

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本发明属于光学检测技术领域，具体为法布里珀罗谐振腔光学微泡传感器及其制备方法。本发明的传感器为一个空心的石英微泡，微泡上、下半泡外表面分别镀有不同反射率的金属薄膜或多层高低折射率周期性交叉排列的介质薄膜，形成法布里珀罗结构的谐振腔；微泡的两端具有开口，用于与检测系统连接。在进行检测时，根据检测对象的生物化学分子特性，在微泡内表面进行硅烷化处理和官能化处理，使生物化学分子与其结合，以实现对生物分子特异性检测功能。本发明还包括基于光学微泡传感器的检测系统。本发明微泡传感器具有超高的品质因数，可以实现对超低微量浓度、超小物理量的化学生物试剂的检测；此微泡传感器制作方便，操作简单，整体设计成本较低。

基于增量模型的金属技术监督专家系统 1043     

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本发明涉及一种基于增量模型的金属技术监督专家系统，包括：硬度检测模块，用于从数据库中选择所检测材料的化学分子式，获取布氏硬度检测值、高温螺栓规格，通过标准库与实际检测值对比，判断所检测材料的硬度值是否符合要求，并输出判断结果；电站材料性能查询模块，用于从数据库中选择所检测材料的化学分子式，通过查询标准库，输出所检材料的化学成分、力学性能、焊接工艺、热处理工艺、使用工况；壁厚强度校核模块，用于选择待校核部件名称，基于从标准库查询得到的输入值，通过计算得到壁厚值；预留增量模块，用于增加模块。本发明能够有效增加金属专责工程师的工作效率，准确预判电站材料的使用情况，为下一周期检修维护提供实际的支撑。

合金纳米粒子修饰的电致发光细胞传感纸芯片的制备 757     

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本发明公开了一种基于合金纳米粒子修饰的电化学发光细胞传感纸芯片的制备方法。该传感纸芯片的制作方法包括以下步骤：制备Au@Pd修饰的纸芯片工作电极；制备多孔PtNi合金纳米材料；制备高性能量子点碳点（CDs）与PtNi@CDs发光标记复合物；利用电极修饰技术，将适配体和细胞以及发光标记复合物修饰到传感纸芯片的Au@Pd工作电极表面。一种基于多金属纳米粒子修饰的电化学发光细胞传感纸芯片的检测方法包括如下步骤：将修饰好的传感纸芯片连接到电化学工作站，配合化学发光仪，对待测液进行检测。本发明的电极特异性强；灵敏度高；完成一个检测过程时间短；成本低。电极检测肿瘤细胞的方法，操作简单快速，反应及结果均由仪器自动完成和记录。

智能清洗薄膜沉积腔室的方法及系统 945     

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本发明公开了一种智能清洗薄膜沉积腔室的方法及系统，该系统包括采集模块、处理分析模块和清洗模块；采集模块通过傅里叶红外光谱仪采集腔室内部含硅元素化学键的红外光谱图；处理分析模块根据红外光谱分析结果得出含硅元素化学键的实际强度值，通过比较实际强度值与预设强度值的大小，处理分析模块做出是否需要清洗腔室的指示，清洗模块针对各个含硅元素化学键进行清洗工作。本发明提供的智能清洗薄膜沉积腔室的方法及系统，保证腔室在工作状态下保持实时的清洁环境，有效地控制每片晶圆在工艺过程中腔室环境的一致性，显著提升薄膜沉积设备在连续晶圆生产中的工艺稳定性。