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> 中船特气深耕电子特气领域 三氟化氮、六氟化钨助力半导体产业
副教授
博士研究生
副教授/土木工程实验中心书记、副主任
研究员/科技部长
标题:中船特气深耕电子特气领域 三氟化氮、六氟化钨助力半导体产业