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半导体设备电源国产化进程提速关键技术突破助力产业自主可控

2025-04-21 12:33:01 来源：集邦半导体观察

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简介：随着国际供应链形势变化，国内半导体设备电源行业迎来发展机遇。以英杰电气为代表的本土企业正加速技术攻关，在刻蚀设备电源等关键领域逐步实现进口替代。

半导体制造设备核心部件国产化进程近日取得新进展。据了解，长期以来被海外厂商垄断的半导体设备高端电源市场，正迎来国产替代的关键窗口期。其中，应用于刻蚀设备和PECVD薄膜沉积设备的高端电源产品，国产化率已从几乎空白提升至可批量供货阶段。

在刻蚀设备电源领域，国内企业通过持续研发投入，已突破多项关键技术瓶颈。以英杰电气为代表的本土电源制造商，其研发的高精度大功率射频电源系统，在输出稳定性、响应速度等核心指标上接近国际先进水平。目前该产品已通过国内主流半导体设备厂商的验证测试，并开始小批量交付使用。

PECVD设备电源的国产化同样取得实质性突破。针对薄膜沉积工艺对电源的特殊要求，国内研发团队创新性地采用多模块并联技术，有效解决了传统方案在长时间连续工作时的稳定性问题。测试数据显示，新型国产电源在持续工作1000小时后，关键性能参数仍能保持在设计标准范围内。

行业分析指出，当前国际供应链环境的变化为国产半导体设备电源提供了难得的发展机遇。一方面，海外厂商的供货限制促使国内晶圆厂加快供应链本土化进程；另一方面，国内设备厂商也更有动力与本土电源供应商开展深度合作。这种产业链协同效应正在形成良性循环，加速国产替代进程。

值得注意的是，半导体设备电源的国产化进程仍面临挑战。由于半导体制造工艺对设备可靠性和一致性的严苛要求，国产电源产品需要经过更长时间的实际生产验证。同时，配套的关键元器件供应链建设也需同步推进，才能真正实现完全自主可控。

业内人士预计，随着技术积累的不断深化和产业生态的持续完善，2025年半导体设备电源国产化率有望实现显著提升。这不仅将增强我国半导体产业链的韧性，也为相关企业带来新的发展空间。未来，在刻蚀、沉积、离子注入等更多设备领域，国产电源产品或将逐步实现对进口产品的替代。