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0 北京大学东莞光电研究院的王琦研究员，携手南方科技大学的李携曦教授、香港大学的Yuan Lin教授及褚智勤教授等顶尖学者，共同在金刚石薄膜的制备与应用领域取得了显著进展。他们成功研发出一种新型制备工艺，能够高效产出大尺寸、超光滑且具备高度柔韧性的金刚石薄膜。
这一创新工艺不仅突破了传统制备技术的局限，实现了金刚石薄膜的规模化生产，而且所产出的薄膜在品质上达到了前所未有的高度。其尺寸可达2英寸晶圆大小，厚度仅为亚微米级别，表面粗糙度更是低于纳米级别，同时展现出卓越的柔韧性，能够轻松实现360°弯曲。
该研究成果以“大规模生产超平整超柔性金刚石膜的新方法”为题，于2024年12月18日在国际权威学术期刊《自然》上正式发表。这一成果标志着金刚石薄膜制备技术的一次重大革新，为金刚石薄膜在电子、光学等多个高科技领域的广泛应用奠定了坚实基础。
在研究中，团队发现，通过特定的剥离角度和膜厚度控制，可以稳定地制备出大面积且基本保持完整的金刚石薄膜。这一发现不仅为金刚石薄膜的规模化生产提供了可靠路径，而且所制备的高品质薄膜具有平坦的可加工表面，适用于微纳加工操作，其超柔性特点更是为弹性应变工程和变形传感应用开辟了新可能。
此次研究的共同第一作者包括北京大学东莞光电研究院的景纪祥博士、香港大学的Fuqiang Sun博士以及该研究院的王忠强工程师，而王琦、李携曦、Yuan Lin和褚智勤则担任共同通讯作者。
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